http://ir-heat-co.com/ms/tags/terma/ Recent content in Terma on The Infrared Heating Company Hugo ms Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/ms/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/ms/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Lampu pemprosesan terma cepat (RTP)"></p> <p>Di lantai fabrik, wafer 300mm dipenuhi dengan ribuan die, dan anggaran terma adalah sesuatu yang sakral. Pergerakan 2°C semasa soft bake photoresist atau spike anneal boleh membakar kecacatan terus ke dalam corak, mengganggu keseragaman CD dan menghapuskan banyak die yang baik. Kami bergantung pada sistem lampu pemprosesan terma cepat (RTP) untuk mengelakkan perkara itu berlaku, dengan kawalan suhu di tahap wafer yang boleh diulang.</p> <p><strong>Apa yang sebenarnya penting di dalamnya</strong> Kami menggunakan lampu halogen gelombang pendek dalam konfigurasi pyrometry tertutup. Ini memberikan kami respons milisaat dan keseragaman suhu yang ketat di seluruh wafer—biasanya ±0.1°C. Komponen kuarza dan fixture rendah gas yang mengeluarkan partikel membantu mengurangkan jumlah partikel, yang diperlukan untuk kelas cleanroom 1–100. Hasilnya adalah pemindahan tenaga yang boleh diramalkan ke dalam tumpukan, sama ada anda melakukan hard bake photoresist atau spike anneal, dengan sedikit lebihan terma. Tingkap proses <a href="https://henruite.com">terbuka</a>, dan kebolehulangan dari kitaran ke kitaran menjadi lebih baik.</p>