Stop met het opwarmen van de muren (en begin in plaats daarvan de wafers te verwarmen)
De meeste verwarminstructies zorgen voor oververhitting. Ze verspreiden warmte overal, wat een nachtmerrie is in een halfgeleiderkamer. Hierdoor ontstaan “ hete muren ” – waarbij de binnenbekleding van uw dure apparatuur beschadigd raakt. Dit brengt niet alleen risico’s met zich mee voor uw apparatuur, maar vormt ook een echte veiligheidsrisico voor iedereen die aan de machine moet werken.
Wij hebben een betere oplossing gevonden: richtingsgebonden infrarode (IR) verwarmlampen.
Hoe het werkt
Stel je resistieve verwarminstructies voor als een ruimteverwarmer – ze verwarmen gewoon de lucht. IR-lampen zijn anders. Ze stralen elektromagnetische golven rechtstreeks uit.
We stemmen deze lampen zo in dat ze rechtstreeks op het oppervlak van de wafer gericht zijn. Door het golflengtepatroon aan te passen en de juiste reflectoren te gebruiken, blijft de energie geconcentreerd op het substraat. De warmte dringt niet door naar de wanden van de kamer.
Het resultaat? De behuizing van uw apparatuur blijft koel, en de wafer bereikt de gewenste temperatuur veel sneller.
De details
We bouwen deze lampen zodat ze zware hittebelastingen kunnen weerstaan. We gebruiken kwartsomhullingen en halogeenfilamenten, omdat deze onmiddellijk aan en uit kunnen gaan. Hierdoor kan de temperatuur nauwkeurig worden geregeld. U kunt ze eenvoudig aansluiten op uw bestaande PID-regelsystemen, zodat u de vereiste toleranties kunt handhaven.
Maar er is wel een nadeel: omdat deze lampen zoveel energie in een zo klein gebied concentreren, zijn ze gevoelig voor vuil of afwijkingen in de positie van de reflectoren. Als de reflectoren vuil raken of een paar millimeter uit hun positie schuiven, ontstaan er hete plekken op de wafer. U moet ervoor zorgen dat de optische paden schoon blijven, anders wordt een hele partij producten beschadigd.
Beter voor de apparatuur, beter voor de mensen
Het voorkomen van oververhitting van de muren is niet alleen belangrijk om de hardware te beschermen, maar ook om de mensen die naast de machine werken te beschermen.
Als de buitenste behuizing koel blijft, hoeft u zich geen zorgen te maken over brandwonden tijdens het onderhoud. Bovendien wordt er geen elektriciteit verspild aan het opwarmen van de lucht en de machinekoepel.
U stuurde de energie precies waar ze thuishoort: op de wafer.