Op de productieafdeling weet je hoe snel een proces kan gaan schuiven als de temperatuur niet nauwkeurig wordt geregeld. Zelfs een verschil van 0,5°C kan al tot afwijkingen in de lijndikte leiden – en dat resulteert weer in een lager rendement dan wenselijk is. Koude chemische kamers hebben ook invloed op de viscositeit; deze ongelijkmatigheden zorgen voor problemen bij het opnieuw verwerken van de producten.
Infraroodprecisie: sub-millimeternauwkeurigheid en herhaalbare resultaten
We hebben de verwarmingseenheden voor chemische kamers ontworpen met behulp van kortegolfinfraroodstralen. Deze stralen zijn afgestemd op het absorptieprofiel van de fotochemische stoffen die dagelijks worden gebruikt. Hierdoor wordt er een sub-millimeternauwkeurige temperatuurregulatie bereikt, zodat de temperatuur op het gewenste niveau blijft.
De temperatuur wordt nauwkeurig geregeld op ±0,1°C, en de herhaalbaarheid ligt rond de paar milliseconden. Dat betekent dat elke behandeling onder dezelfde omstandigheden plaatsvindt, zonder dat er afwijkingen optreden.
Deze apparaten zijn geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100. Ze genereren geen deeltjes, omdat ze zijn gemaakt van kwarts. Hierdoor blijft de uitstoot van gassen laag, zodat er geen contaminatie optreedt die de kwaliteit van de producten kan beïnvloeden.
Waarom dit werkt in semiconductorfabrieken
Deze verwarmingseenheden zorgen ervoor dat het proces voor het verwerken van fotoresist onder controle blijft. Dit reduceert de afwijkingen in de lijndikte en de noodzaak tot herwerkingsprocessen. Wanneer de temperatuur constant is, blijft ook de viscositeit constant. Hierdoor verminderen de defecten aan de randen van de producten en verbetert het rendement.
Infraroodstralen verwarmen rechtstreeks het doelobject, in plaats van de omringende lucht. Hierdoor wordt de energieverbruik minder. De snelle reactietijd zorgt er ook voor dat er minder tijd nodig is om de apparaten op temperatuur te brengen tussen batches.
Praktische tips voor installatie en gebruik
De verwarmingseenheden kunnen eenvoudig in bestaande kamers worden geplaatst. Echter, het is belangrijk dat de emissiearrangementen en de flowpath goed op elkaar zijn afgestemd, zodat er sprake is van een constante temperatuur. Zorg er ook voor dat er een stabiele stroomvoorziening is; anders kan de temperatuur onstabiel worden.
Na elke onderhoudsactie moet het systeem even tot rust komen. Ook is het belangrijk om de deuren van de kamer consequent te gebruiken – anders kan er lucht binnendringen, wat de herhaalbaarheid van het proces negatief beïnvloedt.