http://ir-heat-co.com/pl/tags/mi%C4%99kki/ Recent content in Miękki on The Infrared Heating Company Hugo pl Fri, 26 Jun 2026 04:52:38 +0800 http://ir-heat-co.com/pl/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:38 +0800 http://ir-heat-co.com/pl/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Lampa do delikatnego wyżarzania fotorezystu"></p> <p>W procesie litografii nie należy traktować kroku „soft bake” jako prostego rozgrzewania płytki krzemowej. To właśnie ten krok zapewnia stabilny poziom rozpuszczalników w materiale fotorezystowym oraz umożliwia pewne przyklejenie się tego materiału do powierzchni płytki. Nawet niewielka różnica temperatury w wysokości 1°C może doprowadzić do utraty kontroli nad wymiarami płytki – powstają <a href="https://o-yate.net">wtedy</a> wady produkcyjne.</p> <p><strong>Co jest istotne z technicznego punktu widzenia?</strong> Używamy lamp NIR do procesu „soft bake”, ponieważ zapewniają one jednorodność temperatury na poziomie poniżej milimetra. Geometria emitera kwarcowo-halogenowego oraz układ reflektorów są tak skonstruowane, aby profil termiczny odpowiadał konturom płytki krzemowej, a nie grzałce. Dzięki temu można utrzymać jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C. Ponadto, dzięki stabilnej mocy lampy i powtarzalności jej działania, możliwa jest produkcja produktów o wysokiej jakości.</p>