http://ir-heat-co.com/ru/tags/%D0%BC%D1%8F%D0%B3%D0%BA%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Мягкий on The Infrared Heating Company Hugo ru Fri, 26 Jun 2026 04:52:37 +0800 http://ir-heat-co.com/ru/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:37 +0800 http://ir-heat-co.com/ru/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лампа для мягкой обработки фоторезиста"></p> <p>На этапе литографии не следует рассматривать процедуру мягкой обработки как простую разминку перед основной обработкой. Это важный термический этап, который позволяет зафиксировать содержание растворителя в фотополимере и обеспечить надежное прилипание фотополимера к поверхности кристалла. Даже небольшое изменение температуры на 1°C или наличие „холодных точек“ в области освещения может привести к снижению точности контроля размеров кристалла. Также увеличивается шероховатость линий на поверхности кристалла, что приводит к появлению дефектов.</p> <p><strong>Что имеет техническое значение</strong> Мы используем лампы НИР для мягкой обработки, потому что они обеспечивают высокую однородность температурного поля на уровне субмиллиметров. Геометрия кварцево-галогенового излучателя и конструкция отражателей такие, что температурный профиль соответствует форме кристалла, а не форме нагревателя. Таким образом можно сохранять однородность температуры на уровне ±0,1°C, а также обеспечивать высокую воспроизводимость результатов при производстве разных партий продукции. Это достигается благодаря стабильной мощности лампы и возможности воспроизведения температурного профиля.</p>