http://ir-heat-co.com/ru/tags/%D0%BF%D0%B5%D1%87%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5/ Recent content in Печение on The Infrared Heating Company Hugo ru Fri, 03 Jul 2026 08:35:12 +0800 http://ir-heat-co.com/ru/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 08:35:12 +0800 http://ir-heat-co.com/ru/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Лампа для сушки фотополимера"></p> <p>На этапе литографии даже небольшое отклонение в полуградусе во время процедур мягкой или жесткой обработки не является просто числом в таблице данных. Это проявляется в изменениях толщины слоя фоторезиста, слабом сцеплении его со субстратом, а также в снижении качества продукции после процедуры этичинга. Мы разработали специальные лампы для обработки фоторезиста, которые помогают устранить такие отклонения, чтобы процесс оставался стабильным при обработке каждого отдельного кристалла.</p> <p><strong>Что действительно важно</strong> Мы используем излучатели в инфракрасном диапазоне с точным контролем спектра, что позволяет напрямую нагревать фоторезист. Это сокращает время нагрева и обеспечивает более быстрый и стабильный тепловой эффект. На всей площади зоны нагрева однородность температуры на уровне кристалла составляет ±0,1°C, а повторяемость параметров сохраняется в пределах допустимых значений даже после тысяч циклов обработки. Устройство подходит для использования в чистых комнатах класса 1–100. Мы также контролируем отсутствие частиц на границе контакта между фоторезистом и субстратом. Устройство разработано для круглосуточной работы; устройства, используемые в производстве, могут работать более 5 000 часов без снижения качества работы.</p> http://ir-heat-co.com/ru/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:26:01 +0800 http://ir-heat-co.com/ru/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Нагреватель для запекания электронно лучевого резиста"></p> <h1 id="на-производственном-участке-запекание-e-beam-резиста--это-не-просто-прогрев-это-опорный-процесс">На производственном участке, запекание E-beam резиста — это не просто прогрев. Это опорный процесс.</h1> <p>Если температура на горячей плите отклонится на 2°C, смещается критическое размерное отклонение. Начинает сдвигаться совмещение. Тогда приходится гоняться за выходом годных через литографическую ячейку, при этом график сдвигается.</p> <p><strong>Что действительно важно под капотом</strong><br> Мы построили нагреватель для запекания E-beam резиста на базе излучателей ближнего инфракрасного диапазона (NIR) и кварцевой термической архитектуры. Результат — термическое равномерное распределение с точностью до субмиллиметров по всей пластине и повторяемость, удерживающая заданную температуру с точностью ±0.1°C.<br> Это не утверждение из таблицы. Измерения проводятся непосредственно на пластине, при производственных газовых потоках, с термопарным картированием, повторяющим контуры инструмента. Система работает в чистых помещениях классов 1–100, а мониторинг in-situ подтверждает отсутствие генерации частиц. Можно рассчитывать на круглосуточную надежность без незапланированных простоев, связанных с дрейфом нагревателя.</p>