บทนำ ในกระบวนการผลิตวงจรระดับวาเฟอร์นั้น สิ่งที่สำคัญที่สุดก็คือเวลาในการทำงานของเครื่องจักร หากเครื่องจักรหยุดทำงาน ทุกอย่างก็จะหยุดลงทันที...

ออกไปที่ชั้นผลิตชิป, wafer ขนาด 300 มม. จะถูกบรรจุด้วยชิ้นส่วนหลายพันชิ้น และงบประมาณทางความร้อนนั้นถือเป็นสิ่งสำคัญ การที่อุณหภูมิเปลี่ยนไป 2°C...