http://ir-heat-co.com/tr/tags/f%C4%B1r%C4%B1nlama/ Recent content in Fırınlama on The Infrared Heating Company Hugo tr Fri, 03 Jul 2026 08:35:13 +0800 http://ir-heat-co.com/tr/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 08:35:13 +0800 http://ir-heat-co.com/tr/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Fotorezist pişirme lambası"></p> <p>Litografide, yumuşak pişirme veya sert pişirme işlemleri sırasında meydana gelen yarım derecelik sapmalar, tablolardaki sayılar olarak görünmez. Bu sapmalar, çizgi genişliklerinde değişiklikler, zayıf yapışma ve aşındırma sonrasında verimlilikte düşüş şeklinde kendini gösterir. Biz de bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için fotoresist pişirme lambalarını geliştirdik; böylece her wafer için işlem standartlarda kalır.</p> <p><strong>Arka planda önemli olan şeyler</strong><br> Sıkı spektral kontrolü olan NIR <a href="https://o-yate.net">vericiler</a> kullanarak fotoresisti doğrudan ısıtıyoruz. Bu sayede substratın tepki süresi azalır ve daha hızlı, daha düzenli bir ısıl tepki elde edilir. Pişirme bölgesinde waferler arasındaki uyumluluk ±0,1°C civarında olur ve binlerce döngü boyunca tekrarlanabilirlik aynı toleranslar içinde kalır. Bu cihazlar Class 1–100 temiz oda koşullarına uygundur ve arayüzde hiçbir parçacık oluşmadığından emin oluyoruz. Cihaz, 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; saha üniteleri 5.000 saatten fazla çalışabilir ve verimlilik sabit kalır.</p> http://ir-heat-co.com/tr/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:26:01 +0800 http://ir-heat-co.com/tr/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="E ışını rezist ısıtıcı fırın"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>E-beam direnç pişirmesi fab katında bir ısınma işlemi değildir. Süreçte bir sabittir.<br> Sıcak plaka üzerinde 2°C <a href="https://goldisgood.com">sapma</a> olursa, kritik boyut sapması değişir. Overlay kaymaya başlar. Ardından verimliliği litografi hücresi boyunca geri kovalarsınız, program kayar.</p> <p><strong>Motor kaputu altında gerçekten önemli olan</strong><br> E-beam direnç pişirme ısıtıcısını kısa dalga kızılötesi (NIR) yayıcılar ve kuartz destekli termal mimari etrafında tasarladık. Sonuç olarak, wafer üzerinde milimetrenin altında termal uniformite ve ±0.1°C içinde set noktası tutarlılığı sağlanır.<br> Bu bir <a href="https://o-yate.com">tablo</a> iddiası değildir. Üretim gaz akışları altında, takım zarfını takip eden termokupl haritalaması kullanılarak wafer üzerinde ölçülmüştür. Sistem Class 1–100 temiz odalarda çalışır ve yerinde izleme sıfır partikül üretimini doğrular. 24/7 güvenilirlik sağlar—ısıtıcı sapmasına bağlı plansız duruş yoktur.</p>