http://ir-heat-co.com/tr/tags/yumu%C5%9Fak/ Recent content in Yumuşak on The Infrared Heating Company Hugo tr Fri, 26 Jun 2026 04:52:38 +0800 http://ir-heat-co.com/tr/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:38 +0800 http://ir-heat-co.com/tr/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Foto direnç yumuşatma fırını lambası"></p> <p>Litografi işlemlerinde, “yumuşak fırınlama” adımını sadece bir ısınma işlemi olarak görmeyin. Bu adım, çözücü içeriğini sabitleyen ve fotoresistin yüzeye yapışmasını sağlayan bir ısıtma işlemidir. Eğer wafer üzerinde 1°C’lik bir sıcaklık farkı olursa veya lambanın ısı dağılımında düzensizlikler meydana gelirse, kritik boyut kontrolü bozulur. Hat genişliğindeki dalgalanmalar artar ve kusurlar ortaya çıkar.</p> <p><strong><a href="https://goldisgood.com">Teknik</a> Açıdan Önemli Olanlar</strong> Yumuşak fırınlama işlemleri için NIR lambalar kullanılır; çünkü bunlar termal alanda milimetre altı düzeyde bir birlik sağlarlar. Kuvars-halojen emisörlerinin geometrisi ve yansıtıcı yapılar, ısı profilinin ısıtıcıya değil de wafere uyum sağlamasını sağlayacak şekilde ayarlanmıştır. Fırınlama yüzeyinde waferin sıcaklığı ±0,1°C civarında tutulabilir ve lambanın çıkış gücü sabit olduğundan üretim süreçleri tekrarlanabilir.</p>