Припиніть нагрівати стіни обладнання (а почніть нагрівати самі пластини)
Більшість елементів нагріву є джерелом безладу – вони розподіляють тепло всюди, що є справжньою проблемою у камерах для обробки напівпровідників. У результаті стіни обладнання стають надто гарячими, через що внутрішні компоненти обладнання можуть пошкодитися. Це не лише загрожує вашому обладнанню, але й становить реальну небезпеку для людей, які працюють з цим обладнанням.
Ми знайшли кращий спосіб – використання ламп інфрачервоного випромінювання.
Як це працює
Елементи нагріву можна порівняти з обігрівачами – вони просто нагрівають повітря. А ось лампи інфрачервоного випромінювання функціонують інакше – вони випромінюють електромагнітне випромінювання в прямій лінії. Ми налаштовуємо ці лампи так, щоб вони нагрівали саме поверхню пластини. Завдяки правильному вибору довжини хвилі та використанню відповідних відбивачів, енергія залишається на поверхні пластини. Тепло не поширюється на стіни камери.
Результат? Корпус обладнання залишається прохолодним, а пластина досягає потрібної температури значно швидше.
Деталі конструкції
Ми будуємо ці лампи так, щоб вони могли витримувати великі навантаження. Ми використовуємо кварцові корпуси та галогенні філаменти – вони можуть швидко увімкнутися та вимкнутися, що дозволяє точно контролювати температуру. Їх можна просто під’єднати до існуючих систем керування температурою.
Але є одна проблема… Оскільки ці лампи концентрують велику кількість енергії в невеликому просторі, вони є дуже чутливими до забруднень чи зміщень. Якщо відбивачі будуть брудні чи змістяться на кілька міліметрів, на поверхні пластини з’являться гарячі точки. Потрібно підтримувати чистоту оптичних шляхів, інакше це може призвести до пошкодження пластин.
Краще для обладнання, краще для людей
Уникнення перегріву стін обладнання – це не лише спосіб захистити обладнання, а й спосіб захистити людей, які працюють з ним. Коли корпус обладнання залишається прохолодним, не потрібно турбуватися про опіки під час технічного обслуговування. Крім того, не потрібно витрачати електроенергію на нагрівання повітря та корпусу обладнання. Енергія йде саме туди, куди потрібно – на поверхню пластини.