http://ir-heat-co.com/uk/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D0%BF%D0%BE%D0%BB%D1%96%D0%BC%D0%B5%D1%80/ Recent content in Фотополімер on The Infrared Heating Company Hugo uk Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/uk/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/uk/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лампа для м якого випалювання фоторезисту"></p> <p>На цеху з літографією не варто сприймати процедуру „м’якого випалювання“ як простий попередній крок у процесі обробки. Це насправді тепловий етап, який забезпечує стабільний рівень розчинника та ефективне прилипання фоточутливого шару до поверхні пластини. Навіть незначна зміна температури – на 1°C – може призвести до порушення контролю за розмірами елементів пластини. Також може зрости шорсткість поверхні ліній, а це, у свою чергу, призводить до появи дефектів.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо лампи НІР для процедури „м’якого випалювання“, оскільки вони забезпечують однорідність температурного поля на рівні менше міліметра. Геометрія кварцово-галогенових емітерів та конструкція відбивачів також оптимізовані так, щоб температурний профіль відповідав формі пластини, а не формі нагрівача. На поверхні пластини можна підтримувати однорідність температури на рівні ±0,1°C. Повторюваність результатів залишається високою, оскільки вихідна потужність лампи є стабільною, а температурний профіль можна відтворити знову та знову.</p>