لیتھوگرافی کے عمل میں، پولی ایمائڈ فوٹو ریزسٹ، عام لیمپوں کے ذریعہ حاصل کیے جانے والے حرارتی کنٹرول کو برداشت نہیں کر سکتا۔ ہلکی حرارت سے بھی ریزسٹ کی موٹائی میں تغیر پیدا ہو جاتا ہے، جبکہ زیادہ حرارت سے ایچنگ کے بعد ریزسٹ پر غیرضروری مواد باقی رہ جاتا ہے۔ لہذا، ضروری ہے کہ حرارت کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جائے؛ تاکہ ریزسٹ کی موٹائی میں استحکام رہے، اور کلین روم میں کوئی غیرضروری ذرات پیدا نہ ہوں۔
ہمارے پولی ایمائڈ بیک لیمپ، شارٹ-ویو NIR ایمیٹرز پر مبنی ہیں، جو پولی ایمائڈ کی جذب کرنے کی خصوصیات کے مطابق ہیں۔ اس سے تیز رفتار، بغیر کسی رابطے کے حرارت پیدا ہوتی ہے، اور حرارتی انرشیا بہت کم رہتی ہے۔ ویفر کی سطح پر یکسانیت ±0.1°C کے درمیان رہتی ہے، جبکہ ایک شاٹ سے دوسرے شاٹ میں یکسانیت ±0.2°C کے درمیان رہتی ہے۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کلین روموں میں کام کرتے ہیں، اور ان سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی ان کی کارکردگی مستحکم رہتی ہے، اور اس سسٹم کو 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، تاکہ حرارتی توازن برقرار رہے۔
جب یہ سسٹم کام کر رہا ہوتا ہے، تو اس سے کریٹیکل ڈائمینشنز پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، اور دوبارہ پروسیس کرنے والے پروڈکٹس کی تعداد کم ہو جاتی ہے۔ ہلکی حرارت سے پروسیسنگ چند سیکنڈوں میں مکمل ہو جاتی ہے، اور حل کو ختم کرنے کا عمل بھی قابل پیشن گوئی ہوتا ہے۔ زیادہ حرارت سے بھی مناسب کراس لنکنگ حاصل ہوتی ہے، لہذا باقی رہنے والا تناؤ کم رہتا ہے، اور پیٹرن کے ٹوٹنے کا خطرہ بھی کم ہو جاتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ توانائی براہ راست ریزسٹ میں جاتی ہے، نہ کہ چیمبر کو گرم کرنے میں۔ اس کے نتیجے میں یکساں ایچنگ پروفائل حاصل ہوتا ہے، فضول مال کم ہو جاتا ہے، اور شیڈول بھی بہتر طریقے سے پورے ہوتے ہیں۔
خریدنے سے پہلے چند عملی نکات: لیمپ کی تنصیب کے لئے، لیمپ کے سائز اور آپٹیکل کپلنگ کو آپ کے کوٹنگ/بیکنگ ٹریک سے میل کرنا ضروری ہے۔ کمیشننگ کا عمل تو جلد ہی مکمل ہو جاتا ہے، لیکن آپ کو اپنے ریزسٹ اسٹیک کے لئے ریمپ ریٹ اور اوورشوٹ کو مناسب طریقے سے سیٹ کرنا ہوگا۔ چونکہ NIR کی شدت فاصلے کے ساتھ تبدیل ہوتی ہے، لہذا فاصلے کو بھی مناسب حد میں رکھنا ضروری ہے؛ ورنہ یکسانیت اور دہرائی میں تغیر پیدا ہو جاتا ہے۔ باقاعدگی سے ایمیٹرز کی کیلیبریشن کرنا، اور کلین روم کے معیارات کے مطابق ہی ان کو استعمال کرنا ضروری ہے، تاکہ ذرات کی تعداد کو کنٹرول میں رکھا جا سکے۔