کیوں آئر ایم ہیٹنگ، ویفرز کی پروسیسنگ کے لئے ہاٹ ایر ہیٹنگ سے بہتر ہے؟
اگر آپ اپنی ڈیپ پروسیسنگ سسٹم میں ہاٹ ایر کرنٹ سسٹم کی جگہ آئر ایم ہیٹنگ کا استعمال کرنے کے بارے میں سوچ رہے ہیں، تو اسے صرف “بہتر آلات” کے طور پر نہ دیکھیں۔ بلکہ اسے اپنا وقت بچانے کا ایک طریقہ سمجھیں۔
ہاٹ ایر کرنٹ سسٹم بہت سست ہے۔ اس میں کنویکشن کا عمل استعمال ہوتا ہے، یعنی آپ فضا کو گرم کرتے ہیں، اور امید کرتے ہیں کہ یہ گرم فضا ویفر کو بھی گرم کرے گی۔ لیکن اس میں ہمیشہ تاخیر ہوتی ہے۔ آئر ایم ہیٹنگ میں ایسی کوئی تاخیر نہیں ہے۔ اس میں ریڈیئنٹ انرجی کا استعمال کیا جاتا ہے، جس سے ویفر کو براہِ راست گرم کیا جاتا ہے۔
یہ بہت تیز ہے… واقعی بہت تیز۔
جب آپ ہاٹ ایر کرنٹ سسٹم کا استعمال کرتے ہیں، تو آپ کو حرارتی تاخیر کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔ آپ کو پورے چیمبر کے درجہ حرارت کے مطلوبہ سطح پر پہنچنے کا انتظار کرنا پڑتا ہے، تب جاکر ویفر مستحکم ہوتا ہے۔ یہ بہت پریشان کن عمل ہے۔
لیکن آئر ایم لیمپس کے ساتھ؟ ردِعمل تقریباً فوری ہوتا ہے۔ یہی وجہ ہے کہ ریپیڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP) میں اس کا استعمال بہت عام ہے۔ اس طریقے سے آپ کو درمیانی مراحل سے گزرنے کی ضرورت نہیں پڑتی، اور درجہ حرارت کو منٹوں کے بجائے سیکنڈوں میں ہی حاصل کیا جاسکتا ہے۔ اس طرح، وہ “انتظار کا عمل” جو پوری پروسیسنگ لائن کی رفتار کو سست کرتا ہے، ختم ہو جاتا ہے۔
پھر یہاں یکسانیت کا مسئلہ بھی ہے۔ کنویکشن کرنٹ سسٹم میں سرد جگہیں پیدا ہوتی ہیں، یا بدترین صورت میں، ٹربولنس کی وجہ سے ویفر میں تبدیلی آ جاتی ہے۔ آئر ایم ہیٹنگ میں ہم حرارت کو مخصوص علاقوں تک پہنچا سکتے ہیں۔ چونکہ ہم الگ الگ لیمپوں کو کنٹرول کر سکتے ہیں، اس لئے ہم ان پریشان کن مسائل کو دور کر سکتے ہیں۔ اس طرح، ویفر کی سطح پر حرارت کی تقسیم یکساں ہو جاتی ہے۔
لیکن یہ سب اتنا آسان نہیں ہے۔ آئر ایم لیمپس سے بہت زیادہ انرجی پیدا ہوتی ہے۔ اس لئے، آپ کے کولنگ سسٹم اور سینسرز کو بھی اس کے لئے مناسب ہونا ضروری ہے۔ اگر آپ کا PID لوپ اس قسم کی رفتار کے لئے تیار نہیں ہے، تو آپ کا درجہ حرارت بہت زیادہ بڑھ جائے گا، اور شاید ویفر خراب ہو جائے گا۔
آپ نہیں کر سکتے کہ بس آئر ایم لیمپ کو کنویکشن کرنٹ سسٹم میں رکھ دیں، اور اسے کام کرنے دیں۔ آپ کو پہلے تمام ہارڈویئر کے لئے حرارتی بوجھ کا حساب لگانا ہوگا۔
لیکن پھر بھی، جو لوگ اپنے کلین روم میں زیادہ سے زیادہ ویفرز پروسیس کرنا چاہتے ہیں، ان کے لئے آئر ایم ہیٹنگ بہترین حل ہے۔ یہ سست عمل کو درستگی کے ساتھ انجام دینے میں مدد کرتا ہے۔