فرش پر، جب RTP ہیٹر کام شروع کرتا ہے، تو پورا سسٹم حرکت کرنے لگتا ہے۔ اگر بیکنگ کی شدت مناسب نہ ہو، تو فوٹوریزسٹ کی خصوصیات متأثر ہو جاتی ہیں۔ اگر بیکنگ کی شدت بہت زیادہ یا بہت کم ہو، تو سی ڈی کنٹرول مشکل ہو جاتا ہے۔ اس کے نتیجے میں ویسٹ مال پیدا ہوتا ہے، دوبارہ کام کرنا پڑتا ہے، اور توانائی کا استعمال بھی بے فائدہ ہو جاتا ہے۔
در حقیقت، کون سی چیزیں اہم ہیں؟
ہم نے RTP ہیٹر کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ پورے عمل کے دوران ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت کی تغیرات صرف ±0.1°C رہیں۔ ہیلوجن لیمپس سے تیز رفتاری سے درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جا سکتا ہے، جس سے فوٹوریزسٹ کی خصوصیات برقرار رہتی ہیں۔ کوارٹز سے بنے اجزاء اور کم گیس خارج کرنے والے مواد، کلین رومز میں ذرات کی تعداد کو مستحکم رکھتے ہیں۔ کاربن فائبر سے بنے اجزاء، توانائی کی کھپت کو کم کرتے ہیں، بغیر کسی حرارتی بوجھ کے۔ یہ ہیٹر معیاری کنکٹرز کے ذریعے موجودہ چیمبروں اور کنٹرولرز سے جڑ جاتا ہے، تاکہ درجہ حرارت کا کنٹرول بہتر طریقے سے ہو سکے۔
اسی وجہ سے یہ ہیٹر لیتھوگرافی اور ایچنگ کے عمل میں کارگر ثابت ہوتا ہے۔ درجہ حرارت ایک ایسا پہلو ہے جسے بعد میں ناپنا ممکن نہیں ہے۔ اس ہیٹر کی بدولت، درجہ حرارت کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے، جس سے فوٹوریزسٹ کی خصوصیات برقرار رہتی ہیں۔ مختلف بیچوں میں درجہ حرارت کی یکسانیت سے، عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور منصوبہ بندی بھی بہتر ہو جاتی ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا رہتا ہے، بغیر کسی تعطل کے۔ لیمپوں کی زندگی 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہوتی ہے، جس سے ضروری اجزاء کی تعداد کم ہو جاتی ہے، اور دیکھ بھال کا وقت بھی کم ہو جاتا ہے۔
انسٹالیشن کے لئے، چیمبر کی ساخت کو مناسب کرنا اور لیمپوں کی سمت کو ویفر کی سطح کے مطابق کرنا ضروری ہے۔ چھوٹا سا فرق بھی درجہ حرارت کو متأثر کر سکتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو بہتر بنانے کے لئے، درجہ حرارت کی شرحوں کو دوبارہ ترتیب دینا ضروری ہے۔ درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھنے کے لئے، کولرز کے ساتھ بہتر تعاون ضروری ہے۔ ہم انٹرفیس ڈرائنگز اور تھرمل میپنگ ڈیٹا فراہم کرتے ہیں، تاکہ انسٹالیشن بہتر طریقے سے ہو سکے۔