Giải quyết các vấn đề liên quan đến bộ sưởi trong hệ thống RTP

Sat, 27 Jun 2026 04:45:45 +0800

Trên bề mặt phẳng của wafer, khi bộ sưởi RTP bắt đầu hoạt động, toàn bộ wafer vẫn tiếp tục di chuyển. Việc nung ở nhiệt độ không chính xác sẽ làm thay đổi cấu trúc của lớp thuốc phơi sáng. Ngược lại, việc nung ở nhiệt độ quá cao hay quá thấp sẽ khiến việc kiểm soát độ đồng nhất của CD trở nên khó khăn. Hậu quả là phải loại bỏ sản phẩm hỏng, phải tái xử lý chúng, và chi phí năng lượng cũng tăng lên một cách không thể khắc phục được.

Khắc Phục Sự Cố on The Infrared Heating Company

Giải quyết các vấn đề liên quan đến bộ sưởi trong hệ thống RTP