http://ir-heat-co.com/vi/tags/mems/ Recent content in MEMS on The Infrared Heating Company Hugo vi Tue, 21 Jul 2026 09:26:29 +0800 http://ir-heat-co.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 09:26:29 +0800 http://ir-heat-co.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Máy sấy wafer cảm biến MEMS"></p> <p><strong>Tại sao chúng ta sử dụng phương pháp xử lý bằng tia hồng ngoại cho các linh kiện bán dẫn không chứa chì</strong><br> Khi chế tạo các cảm biến MEMS, điều cuối cùng mà chúng ta muốn tránh chính là tình trạng bề mặt vật liệu bị nhiễm bẩn. Chúng ta cần bề mặt wafer phải khô và sạch. Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng phương pháp xử lý bằng tia hồng ngoại. Phương pháp này giúp loại bỏ hơi ẩm và các chất dung môi mà không cần phải sử dụng các chất phụ gia hóa học phức tạp hay chất xúc tác chứa chì. Năng lượng từ tia hồng ngoại chính là yếu tố quan trọng để thực hiện công việc này.</p>