http://ir-heat-co.com/zh/tags/%E5%85%89%E5%88%BB%E8%83%B6/ Recent content in 光刻胶 on The Infrared Heating Company Hugo zh Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/zh/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/zh/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="光刻胶软烘灯"></p> <p>在光刻工序中，切勿将“软烘烤”步骤视为简单的预热环节。实际上，它是一个至关重要的热处理步骤，用于确保溶剂含量处于稳定状态，并使光阻剂能够牢固地附着在晶圆上。如果晶圆表面的温度出现1°C的波动，或者照明灯具的辐射分布不均，那么对尺寸精度的控制就会受到影响。此时，线路的宽度精度也会下降，进而引发各种缺陷。</p>