http://ir-heat-co.com/zh/tags/%E7%83%98%E7%83%A4%E7%84%99/ Recent content in 烘烤；焙 on The Infrared Heating Company Hugo zh Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800 http://ir-heat-co.com/zh/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:33:47 +0800 http://ir-heat-co.com/zh/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="聚酰亚胺烘烤红外灯"></p> <p>在光刻工艺中，聚酰亚胺光阻对温度控制的要求非常高，普通的照明设备是无法满足这一要求的。如果加热温度有半度左右的偏差，就会导致光阻厚度不均匀；而如果加热程度过大，则会在刻蚀后留下残留物。因此，<a href="https://henruite.com">需要的是能</a>够精确控制温度的加热装置——具备快速升温能力、高度重复性，并且能够在无尘环境中工作，不会向生产线上引入任何颗粒物。</p> http://ir-heat-co.com/zh/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:52:39 +0800 http://ir-heat-co.com/zh/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="光刻胶软烘灯"></p> <p>在光刻工序中，切勿将“软烘烤”步骤视为简单的预热环节。实际上，它是一个至关重要的热处理步骤，用于确保溶剂含量处于稳定状态，并使光阻剂能够牢固地附着在晶圆上。如果晶圆表面的温度出现1°C的波动，或者照明灯具的辐射分布不均，那么对尺寸精度的控制就会受到影响。此时，线路的宽度精度也会下降，进而引发各种缺陷。</p>