http://ir-heat-co.com/zh/tags/%E7%83%AD%E7%9A%84/ Recent content in 热的 on The Infrared Heating Company Hugo zh Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/zh/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 04:01:11 +0800 http://ir-heat-co.com/zh/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-co.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="快速热处理 RTP 灯"></p> <p>在生产车间，300mm晶圆上装满了成千上万的芯片，热预算至关重要。在光刻胶软烘烤或快速退火过程中，温度漂移2°C可能会将缺陷烘烤进图案中，导致CD均匀性不达标，并毁掉大量良品。我们依赖快速热处理（RTP）灯系统来防止这种情况的发生，确保晶圆级的温度控制可重复。</p>