في عملية الطباعة الضوئية، فإن انحرافًا بمقدار نصف درجة أثناء عملية التسخين لا يُعتبر رقمًا في جدول البيانات. بل يظهر ذلك في تغيرات سمك الطبقة المستخدمة، وضعف قوة الالتصاق، بالإضافة إلى انخفاض كفاءة العملية بعد عملية الحفر. لذلك، صممنا أجهزة التسخين المستخدمة في هذه العملية بحيث تقلل من هذه التغيرات، وبالتالي تضمن استمرار العملية في حدود المواصفات المطلوبة، من رقاقة إلى أخرى.
ما الذي يهم حقًا؟ نستخدم مصادر إشعاع في الأشعة تحت الحمراء ذات التحكم الدقيق في الطيف، مما يسمح بتسخين الطبقة المستخدمة مباشرة. وهذا يقلل من التأخير في عملية التسخين، ويوفر استجابة حرارية أسرع وأكثر دقة. في منطقة التسخين، يظل التوحيد في درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وتظل الدقة في التنفيذ ثابتة خلال آلاف الدورات. يمكن استخدام هذه الأجهزة في غرف نظيفة من الفئة 1–100، ونحن نتأكد من عدم وجود أي جسيمات في نقاط التلامس. تم تصميم هذه الأجهزة للعمل على مدار 24/7، حيث يمكن للوحدات المستخدمة في الإنتاج أن تعمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن تتأثر جودة الإنتاج.
لماذا يهم ذلك في عملية معالجة الطبقات الضوئية؟ عملية التسخين الخفيف تهدف إلى تثبيت لزوجة الطبقة المستخدمة وإزالة المذيبات منها، بينما تهدف عملية التسخين الشديد إلى تثبيت الطبقة قبل عملية الحفر. باستخدام هذه الأجهزة، يمكن الحصول على نتائج متسقة في عملية التسخين، مما يقلل من العيوب والحاجة إلى إعادة العمل. وينعكس ذلك في تحسين جودة الطبقة المستخدمة والتنبؤ بسلوكها أثناء عملية الحفر. كما أن عملية التسخين تتم بسرعة، مما يقلل من استهلاك الطاقة. وطول عمر الجهاز يعني أيضًا حاجة أقل إلى قطع الغيار وفترات صيانة أقل.
التفاصيل العملية: يمكن استخدام هذه الأجهزة في الأنظمة القياسية المستخدمة في عمليات الطلاء والتسخين، لكن يجب التأكد من توافقها مع مسار الرقاقة وتركيبة غرفة التسخين أثناء التركيب. من المتوقع أن يتطلب ذلك فترة قصيرة من الاختبار لتحديد أوقات التسخين وشدته ودرجة الحرارة المناسبة. يجب الحفاظ على الجهاز ضمن نطاق الجهد المحدد؛ فخروجه عن هذا النطاق يؤدي إلى انخفاض التوحيد في درجة الحرارة وتقليل عمر الجهاز.