ফ্যাব ফ্লোরে, “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” অঞ্চলগুলো কোনোভাবেই নিরাপদ নয়। মাত্র দুই ডিগ্রির পরিবর্তনই পণ্যের গুণমানকে প্রভাবিত করতে পারে; আর কণাসংখ্যার বৃদ্ধি পণ্যগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে। এই প্রক্রিয়ার জন্য আমরা টুইন-টিউব ইনফ্রারেড হিটিং ল্যাম্প তৈরি করেছি।
এখানে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়টি হলো: টুইন-টিউব লেআউটটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড তরঙ্গগুলোকে একটি নির্দিষ্ট অঞ্চলে কেন্দ্রীভূত করে; ফলে খুব কম তাপ ব্যবহার করেই দ্রুত ও সরাসরি তাপ প্রদান করা যায়। বেকিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C-এর মধ্যে থাকে; এটাই ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়াকে নির্ভরযোগ্য করে তোলে।
ক্লিনরুমের পরিবেশটিও ডিজাইনের অংশ। কোয়ার্টজ আবরণ ও সিলড টার্মিনেশনগুলো কণাসংখ্যাকে নিয়ন্ত্রণ করে; আর ল্যাম্পগুলো বেকিং প্রক্রিয়ার সময় কোনো গ্যাস নির্গত করে না। ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে ল্যাম্পগুলো স্থিতিশীল অবস্থায় থাকে; তাপমাত্রার পরিবর্তন মাত্র ৫% হয়। ফলে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় তাপীয় ভারসাম্য বজায় থাকে।
ব্যবহারিকভাবে এটি কার্যকর কেন? কারণ সঠিক সফ্ট বেক প্রক্রিয়া পণ্যের গুণমানকে উন্নত করে; আর হার্ড বেক প্রক্রিয়া পুনর্কাজের প্রয়োজনীয়তাকে কমিয়ে দেয়। দ্রুত তাপ প্রদান করার ফলে সাইকেল সময় কমে যায়; আর কেন্দ্রীভূত ইনফ্রারেড তরঙ্গগুলো কম শক্তি ব্যবহার করে, ফলে প্রতি ওয়েফারের জন্য খরচ কমে যায়। উচ্চ-মাত্রার উৎপাদনে এই নির্ভরযোগ্যতার ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধ বা রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনীয়তা কমে যায়।
ইনস্টলেশনের সময় যেসব বিষয়গুলো সঠিকভাবে করা দরকার, সেগুলো হলো: অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্টটি অবশ্যই নির্ভুল হতে হবে; আর পার্শ্ববর্তী অংশগুলোতে EMI সৃষ্টি না হওয়ার জন্য একটি স্বতন্ত্র, সুরক্ষিত পাওয়ার সরবরাহ ব্যবস্থা দরকার। নির্দিষ্ট রিফ্লেক্টর গেওমেট্রি ও ক্লোজড-লুপ পাইরোমিটারের সাহায্যে ল্যাম্পগুলো সর্বোত্তমভাবে কাজ করে। রিফ্লেক্টর পরিবর্তন করলে নির্ভুলতা ০.২–০.৩°C পর্যন্ত কমে যেতে পারে।
ল্যাম্প প্রতিস্থাপনের পর সংক্ষিপ্ত বার্ন-ইন প্রক্রিয়া ও রিক্যালিব্রেশন করে সেটপয়েন্টটিকে আবার ±0.1°C-এ নিয়ে আসা দরকার।