লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, পলিইমাইড ফটোরেসিস্টগুলো সাধারণ ল্যাম্প ব্যবহার করে অর্জন করা তাপ-নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতিগুলো সহ্য করতে পারে না। অর্ধ ডিগ্রি মাত্র...

লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফট বেক” প্রক্রিয়াটিকে কেবলমাত্র উষ্ণীকরণ প্রক্রিয়া হিসেবে বিবেচনা করা উচিত নয়। এটা আসলে একটি তাপীয় প্রক্রিয়া; এর...