লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, পলিইমাইড ফটোরেসিস্টগুলো সাধারণ ল্যাম্প ব্যবহার করে অর্জন করা তাপ-নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতিগুলো সহ্য করতে পারে না। অর্ধ ডিগ্রি মাত্র তাপ প্রয়োগ করলেও ফটোরেসিস্টের পুরুত্ব পরিবর্তিত হয়ে যায়; আবার অতিরিক্ত তাপ প্রয়োগ করলে ইটিচিং প্রক্রিয়ার পর অবশিষ্ট অংশগুলো থেকে যায়। আপনার দরকার হলো নির্ভরযোগ্য তাপ-নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা—দ্রুত তাপ প্রয়োগ, নির্ভুল পুনরাবৃত্তি, এবং এমন হার্ডওয়্যার যা ক্লিনরুমে ব্যবহার করলেও কোনো ধূলিকণা উৎপন্ন করে না।
আমাদের পলিইমাইড বেক ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো পলিইমাইড দ্বারা শোষিত হওয়ার জন্য স্বল্প-তরঙ্গদৈর্ঘ্যের নিআর বিকিরণ ব্যবহার করে। এর ফলে দ্রুত ও নন-কন্টাক্ট হিটিং সম্ভব হয়; তাপ-ইনার্শিয়া কম থাকে। ওয়েফারের সমগ্র পৃষ্ঠে তাপমাত্রার পার্থক্য হয় ±0.1°C এর মধ্যে; আর পুনরাবৃত্তির ক্ষেত্রে এই পার্থক্য থাকে ±0.2°C এর মধ্যে। এই ল্যাম্পগুলো ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহার করা হয়; এখানে কোনো ধূলিকণা উৎপন্ন হয় না। 5,000 ঘন্টারও বেশি সময় ধরে এগুলো স্থিতিশীল অবস্থায় কাজ করে; আর তাপ-নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার কারণে তাপ-ব্যয়ও কম থাকে।
লাইনটি চালু থাকাকালীন কী ঘটে?
এর ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো আরও নিয়ন্ত্রণে থাকে; আর পুনরায় প্রক্রিয়াজাত করার দরকার হয় কম। সফট বেক প্রক্রিয়া কয়েক সেকেন্ডেই শেষ হয়; আর সলভেন্ট অপসারণও নির্ভুলভাবে ঘটে। হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় উপযুক্ত ক্রসলিঙ্ক ঘনত্ব অর্জিত হয়; ফলে অবশিষ্ট স্ট্রেস কম থাকে এবং প্যাটার্ন ধ্বংসের ঝুঁকিও কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও কম হয়; কারণ শক্তি সরাসরি ফটোরেসিস্টে যায়, চেম্বারকে উত্তপ্ত করতে নয়। ফলে ইটিচিং প্রক্রিয়া নির্ভুলভাবে সম্পন্ন হয়; অপচয় কম হয়; আর সময়সূচিও ঠিকমতো মেনে চলা যায়।
অর্ডার দেওয়ার আগে কিছু ব্যবহারিক বিষয় মনে রাখুন।
ইনস্টলেশনের সময় ল্যাম্পের আকার ও অপটিক্যাল কাপলিংটি আপনার কোট/বেক ট্র্যাকের সাথে মেলানো দরকার। কমিশনিং প্রক্রিয়া খুব দ্রুত সম্পন্ন হয়; কিন্তু আপনার ফটোরেসিস্টের ধরণ অনুযায়ী র্যাম্প রেট ও ওভারশুট সেট করা দরকার। কারণ নিআর ইন্টেনসিটি দূরত্বের সাথে পরিবর্তিত হয়; তাই স্ট্যান্ডঅফ দূরত্বটি নির্দিষ্ট মানের মধ্যে রাখা দরকার। নিয়মিতভাবে ইমিটারগুলো ক্যালিব্রেট করা এবং ক্লিনরুম-সম্মতভাবে হ্যান্ডেল করা দরকার; যাতে ধূলিকণার পরিমাণ কম থাকে।