Im Bereich der Lithografie ist eine Abweichung von einem halben Grad während des Weichbrennvorgangs oder des Hartebrennvorgangs keine Zahl in einer Tabellenkalkulation. Diese Abweichungen zeigen sich in einer Varianz der Schichtdicke, einer schwachen Haftung sowie einem Rückgang der Ausbeute nach dem Ätzenprozess. Wir haben unsere Lampen so konstruiert, dass diese Schwankungen ausgeschlossen werden – dadurch bleibt der Prozess stets innerhalb der vorgegebenen Parameter, Wafer für Wafer.
Was wirklich wichtig ist Wir verwenden NIR-Emittoren mit präziser Spektralkontrolle, um den Photoresisten direkt zu erhitzen. Dadurch wird die Verzögerung beim Erwärmen des Substrats eliminiert – das führt zu einer schnelleren und gleichmäßigeren Erwärmung. In der Brennzone bleibt die Homogenität auf einem Niveau von ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit bleibt über Tausende von Zyklen hinweg innerhalb derselben Toleranzgrenzen. Die Geräte eignen sich für Reinräume der Klasse 1–100. Zudem wird eine vollständige Freiheit von Partikeln an der Schnittstelle gewährleistet. Die Geräte sind für einen 24/7-Betrieb konzipiert – die Geräte im Einsatz können bis zu 5.000 Stunden lang genutzt werden, ohne dass die Leistung nachlässt.
Warum das bei der Verarbeitung von Photoresisten wichtig ist Beim Weichbrennen geht es darum, die Viskosität des Photoresists zu stabilisieren und Lösungsmittel herauszubringen. Beim Hartebrennen wird die Schicht vor dem Ätzenprozess festgelegt. Mit diesen Lampen erhalten Sie ein konstantes Brennpprofil für die gesamte Charge – dadurch sinken Defekte und Nachbearbeitungen. Das Ergebnis sind eine bessere Kontrolle der Schichtdicke, eine bessere Integrität der Schicht sowie ein vorhersehbares Verhalten während des Ätzenprozesses. Die Erwärmung erfolgt schnell und ohne Übersteigungen – dadurch wird der Energieverbrauch reduziert. Eine lange Lebensdauer der Lampen bedeutet außerdem weniger Ersatzteile und weniger Wartungsaufwand.
Die praktischen Aspekte Diese Lampen passen in die Standard-Beschichtungs-/Brennanlagen. Es ist jedoch notwendig, bei der Installation die Ausrichtung der Lampen bezüglich des Waferpfades sowie der Geometrie der Brennkammer zu überprüfen. Es ist empfehlenswert, eine kurze Anlaufphase einzuplanen, um Zeitdauer, Intensität und Temperaturprofil für Ihre speziellen Bedürfnisse einzugestellen. Halten Sie sich innerhalb des vorgegebenen Spannungsbereichs – sonst leiden Homogenität und Lebensdauer der Lampen stark.