در کارخانههای تولید تراشه، میدانید که چقدر سریع میتواند دمای لازم برای فرآیندهای حرارتی از کنترل خارج شود. حتی کاهش ۰.۵ درجه سانتیگراد در دما نیز میتواند باعث تغییراتی در عرض خطوط تولید شود؛ این تغییرات منجر به کاهش بازدهی تولید میشود. کابینتهای شیمیایی سرد نیز میتوانند باعث تغییراتی در چسبندگی مواد شوند؛ این تغییرات نیز منجر به ناپایداری فرآیندهای تولید میشوند.
دقت مادون-میلیمتری و نتایج قابل تکرار
ما هیترهای مورد استفاده در کابینتهای شیمیایی را بر اساس فرستندههای مادونقرمز کوتاهامواج طراحی کردهایم؛ این فرستندهها برای هماهنگی با پروفایل جذب مواد شیمیایی مورد استفاده در فرآیندهای تولید تنظیم شدهاند. نتیجه این کار، یکنواختی در دما در کل منطقه گرم شده و پایداری دما در سطح ویفرها است.
کنترل دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد انجام میشود؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیندها در محدوده چند میلیثانیه است. این بدان معناست که هر بار، فرآیندهای حرارتی در یک شرایط یکنواخت انجام میشوند، بدون هیچ تغییری.
این دستگاه سازگار با محیطهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، طوری طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود. مسیر حرکت انرژی نیز بر اساس کوارتز است؛ بنابراین، انتشار گازها کم خواهد بود و این امر از آلودگیهایی که میتوانند به فرآیندهای تولید آسیب برسانند، جلوگیری میکند.
چرا این دستگاه در کارخانههای تراشه مؤثر است؟
این هیتر، فرآیندهای مربوط به تولید رزیستورهای فوتوشیمیایی را در محدوده استاندارد نگه میدارد؛ این امر مستقیماً باعث کاهش تغییرات در عرض خطوط تولید و نیاز به بازسازی میشود. وقتی که دمای کابینت یکنواخت باشد، چسبندگی مواد نیز یکنواخت خواهد بود؛ در نتیجه، نقصهای مربوط به لبههای ویفرها کاهش مییابد و بازدهی فرآیندهای تولید افزایش مییابد.
مادونقرمز، هدف مورد نظر را مستقیماً گرم میکند؛ بنابراین، مصرف انرژی کاهش مییابد. همچنین، پاسخ سریع این دستگاه باعث کاهش زمان انتظار برای شروع فرآیندهای تولید میشود.
این دستگاه برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ قطعات آن برای کار مداوم مناسب هستند، و طراحی آن نیز اجازه میدهد که دستگاه در شرایط حرارتی مختلف نیز کار کند، بدون هیچ تغییری.
نکات عملی برای نصب و استفاده
این هیتر را میتوان در کابینتهای موجود نصب کرد؛ اما تطبیق صحیح موقعیت فرستندهها با مسیر حرکت مواد، برای دستیابی به یکنواختی دما، بسیار مهم است. همچنین، باید از منبع تغذیه مناسب و ولتاژ پایدار استفاده کرد؛ در غیر این صورت، دما دچار تغییرات خواهد شد.
پس از هرگونه تعمیرات، بهتر است که دستگاه را برای مدت کوتاهی در دمای مشخصی نگه داشت؛ همچنین، باید از باز و بسته کردن مداوم درب کابینت خودداری کرد؛ زیرا ورود هوا، سریعترین راه برای از بین رفتن یکنواختی دما است.