در فرآیند لیتوگرافی، نباید از روش «خشککردن ملایم» به عنوان یک مرحله آمادهسازی استفاده کرد؛ زیرا این روش در واقع یک مرحله حرارتی است که باعث تثبیت میزان حلال موجود در سطح ویفر و همچنین تقویت چسبندگی فوتورزیست میشود. اگر دمای ویفر ۱ درجه سانتیگراد تغییر کند، یا در نقاط خاصی از سطح ویفر دما پایینتر باشد، کنترل ابعادی ویفر دچار مشکل خواهد شد؛ همچنین، ضخامت خطوط روی ویفر نیز افزایش خواهد یافت و نقصهایی نیز ایجاد خواهد شد.
نکات فنی مهم:
ما از لامپهای NIR برای روش خشککردن ملایم استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها باعث ایجاد یکپارچگی در میدان حرارتی در مقیاس زیر میلیمتری میشوند. ساختار لامپهای کوارتز-هالوژن و سیستمهای بازتابنده به گونهای طراحی شدهاند که پروفایل حرارتی متناسب با سطح ویفر باشد، نه با سیستم گرمایشی. در سطح ویفر، میتوان یکپارچگی دمایی را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کرد؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز به خوبی حفظ میشود، زیرا خروجی لامپ پایدار است و پروفایل حرارتی قابل تکرار است.
سازگاری با اتاقهای تمیز:
سازگاری لامپهای NIR با اتاقهای تمیز نیز یک موضوع مهم است؛ در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، هیچ ذرهای از لامپ تولید نمیشود، و ساختار لامپ به گونهای طراحی شده است که در حین کار، هیچ ذرهای تولید نشود.
دلایل موفقیت این روش:
در کارخانههایی با تولید حجیم، تکرارپذیری روش خشککردن ملایم، تضمینی برای بهرهوری است. با استفاده از لامپهای NIR، ویفر به سرعت به دمای مناسب میرسد؛ در نتیجه، زمان فرآیند کاهش مییابد، بدون اینکه بودجه حرارتی مختل شود. کنترل ضخامت فوتورزیست و رفتار لبههای ویفر نیز قابل پیشبینیتر میشود؛ این امر باعث کاهش مواد اضافی تولید شده میشود.
مصرف انرژی:
مصرف انرژی کاهش مییابد، زیرا لامپ مستقیماً ویفر را گرم میکند، نه هوای اطراف آن. قابلیت اطمینان لامپ نیز از طریق زمان کاری آن مشخص میشود؛ دستگاهها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ از خروجی آنها کاهش یابد؛ در نتیجه، توقفهای غیرمنتظره کاهش مییابد.
نکاتی که باید بدانید:
لامپهای NIR برای روش خشککردن ملایم، نیاز به نصب و تنظیمات خاصی دارند؛ یکپارچگی خروجی لامپ بستگی به فاصله بین لامپ و ویفر و وضعیت بازتابندهها دارد؛ بنابراین، هرگونه تغییر در این بخشها باید متناسب با ساختار مکانیکی لامپ و جریان هوای خنککننده باشد.
لامپهای NIR با رابطهای استاندارد کار میکنند؛ اما اگر اندازه صفحه گرمکننده یا ویفر تغییر کند، پروفایل حرارتی نیز تغییر خواهد کرد. همچنین، باید قطعات یدکی لامپ را متناسب با طول عمر لامپ تهیه کنید؛ این کار باعث حفظ روند تولید میشود.