Dans le domaine de la lithographie, le photorésistant en polyimide ne tolère pas le type de contrôle thermique que l’on peut obtenir avec des lampes ordinaires. Un chauffage doux, même s’il diffère de seulement demi-degré, entraîne une variation de l’épaisseur du photorésistant. Un chauffage trop intense, quant à lui, laisse des résidus après l’etchage. Ce qu’il faut, c’est un chauffage fiable – avec une montée en température rapide, une répétabilité parfaite, et un matériel qui fonctionne dans une salle propre sans ajouter de particules dans le processus de fabrication.
Voici ce qui est important dans ce contexte : Nos lampes infrarouges pour le chauffage du polyimide utilisent des émetteurs à ondes courtes, ajustés pour correspondre à l’absorption du polyimide. Cela permet un chauffage rapide et sans contact, avec une faible inertie thermique. La uniformité au niveau de la puce reste dans la plage de ±0,1 °C, et la répétabilité d’un lot à l’autre reste dans la plage de ±0,2 °C. Ces lampes fonctionnent dans des salles propres de classe 1–100, sans production de particules, ce qui a été vérifié sur place. La puissance de sortie reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de dégradation. Le système est conçu pour fonctionner 24/7, avec un refroidissement contrôlé afin de préserver le budget thermique.
Qu’en est-il lorsque la ligne de production est en marche ? On obtient ainsi un meilleur contrôle des dimensions critiques, et moins de lots qui doivent être retravaillés. Les cycles de chauffage doux se terminent en quelques secondes, et l’élimination des solvants est prévisible. Le chauffage intensif permet d’atteindre la densité de cross-linking souhaitée, sans surchauffe. Ainsi, les contraintes résiduelles restent faibles, ce qui réduit le risque de déformation des motifs. L’utilisation d’énergie diminue également, car l’énergie est dirigée directement vers le photorésistant, et non vers le chauffage de la chambre. Le résultat est des profils d’etchage constants, moins de déchets, et des plannings respectables.
Quelques conseils pratiques avant de choisir ce type de lampe : L’installation nécessite que la taille de la lampe et son couplage optique soient adaptés au système de revêtement/chauffage utilisé. La mise en service est rapide, mais il est nécessaire d’ajuster les taux de montée en température en fonction du type de photorésistant utilisé. Comme l’intensité des rayons NIR varie avec la distance, il est essentiel de respecter des tolérances strictes. Il est également nécessaire de calibrer périodiquement les émetteurs et de veiller à ce que les conditions de la salle propre soient respectées, afin de maintenir un nombre minimal de particules.