בחדר הייצור, אזורי החימום הרך והקשה אינם מקומות שבהם ניתן להתעלם מהדרישות הקפדניות של התהליך. שינוי של שני מעלות בטמפרטורה יכול לגרום לשינויים בממדים החשובים של החומרים, ועלייה ברמת החלקיקים יכולה להרוס את כל התוצרים. לכן, יוצרנו נורות חימום באינפרא-אדום בעלות שני צינורות, כדי לעמוד בדרישות הקפדניות של התהליך.
מה שחשוב באמת הוא פשוט: העיצוב עם שני צינורות מאפשר לרכז את קרינת האינפרא-אדום באזור קטן, כך שניתן לקבל חימום מהיר ויעיל, תוך שמירה על רמת חום קבועה. ברמת הוופר, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, מה שמאפשר ייצור עקבי של חומרים.
העיצוב של חדר הייצור מאפשר שליטה טובה ברמת החלקיקים – המעטפות העשויות קוורץ והחיבורים האטומים מונעים את עליית רמת החלקיקים. בנוסף, הנורות אינן פולטות שום גזים במהלך תהליך החימום. התשואה של הנורות נשארת יציבה לאורך יותר מ-5,000 שעות, כאשר השינוי בעוצמת החימום נמוך מ-5%. כך, רמת החום נשמרת קבועה לאורך כל תהליך הייצור.
הסיבה שהשיטה הזו עובדת היא פשוטה: האחידות הגבוהה בחימום הרך מפחיתה את השינויים ברמת החום, והאחידות בחימום הקשה מפחיתה את הצורך בעבודה נוספת ושומרת על איכות התוצרים. החימום המהיר מקצר את זמן הייצור, מבלי לפגוע בדיוק הטמפרטורה. בנוסף, קרינת האינפרא-אדום הממוקדת מפחיתה את צריכת האנרגיה, מה שמוזיל את עלויות הייצור לכל וופר. בקווי ייצור בעלי נפח גדול, האמינות הזו מאפשרת פחות הפסקות פתאומיות וזמני תחזוקה שניתן לתכנן אותם מראש.
לצורך התקנה נכונה, יש צורך באליינמנטציה אופטית מדויקת, וכן באספקת אנרגיה יעילה, כדי שלא לגרום להפרעות אלקטרומגנטיות בשלבים האחרים של התהליך. הנורות תפקדות טוב ביותר כאשר הן משולבות עם גאומטריה מסוימת של מחזירי אור, וכאשר הן מונעות על ידי פירומטר במעגל סגור. אם מחליפים את מחזירי האור מבלי לבצע כיול מחדש, האחידות של הטמפרטורה יכולה להשתנות בטווח של 0.2–0.3°C.
לאחר החלפת הנורות, יש לבצע תקופת חימום קצרה וכיול מחדש, כדי שהטמפרטורה תישאר בטווח של ±0.1°C.