בתהליך הליתוגרפיה, חומר הפוטורזיסט מסוג פוליאימיד אינו יכול לעמוד ברמת השליטה בטמפרטורה שניתן להשיג באמצעות נורות רגילות. חימום עמום, אפילו בהבדל של...

בתהליך הליתוגרפיה, אל תראו בשלב החימום הרך כשלב הכנה בלבד. זהו שלב תרמי שמבטיח את רמת החומר הממס בחומר הפוטורזיסט, וכן את יציבות ההדבקה שלו לשבב. אם...