फैब्रिकेशन फ्लोर पर, आप जानते ही हैं कि नरम बेकिंग प्रक्रिया में कितनी जल्दी गड़बड़ियाँ हो सकती हैं। यदि तापमान में सिर्फ 0.5°C की भी कमी हो जाए, तो लाइनों की चौड़ाई में बदलाव आ जाता है… और यही बदलाव ऐसी समस्याओं का कारण बनता है जिनका सामना करना असंभव हो जाता है। कोल्ड केमिकल कैबिनेटों में तरल पदार्थों की चिपचिपाहट में बदलाव हो जाता है… और ऐसी स्थिति में प्रक्रिया में दोहराव वाली गड़बड़ियाँ होने लगती हैं।
इन्फ्रारेड प्रेसिजन: सब-मिलीमीटर स्तर की एकरूपता एवं दोहरावी परिणाम
हमने फैब्रिकेशन केमिकल कैबिनेटों में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग किया है… ताकि वे प्रतिदिन उपयोग में आने वाले फोटोकेमिकलों की विशेषताओं के अनुरूप काम कर सकें। इसका परिणाम है – गर्म होने वाले क्षेत्र में सब-मिलीमीटर स्तर की एकरूपता, एवं वेफर-प्रसंस्करण स्तर पर तापमान में स्थिरता।
सेटपॉइंट नियंत्रण ±0.1°C के भीतर ही रहता है… एवं दोहरावी परिणाम कुछ मिलीसेकंड के भीतर ही प्राप्त होते हैं। इसका मतलब है कि हर बार नरम/कठोर बेकिंग प्रक्रिया एक ही तापमान पर ही होती है… बिना किसी गड़बड़ी के।
यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग के लिए उपयुक्त है… एवं इसमें शून्य कणों का उत्पादन होता है। क्वार्ट्ज-आधारित संरचना के कारण गैसों का उत्सर्जन कम होता है… इसलिए कोई संदूषण नहीं होता… जिससे रेजिस्ट में कोई नुकसान नहीं होता।
सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन में इसका उपयोग क्यों उपयोगी है?
यह हीटर, फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण को निर्धारित मानकों के अनुरूप रखता है… जिससे लाइनों की चौड़ाई में बदलाव नहीं होता… एवं प्रक्रिया में दोहराव भी नहीं होता। जब कैबिनेट में तापमान स्थिर रहता है, तो तरल पदार्थों की चिपचिपाहट भी स्थिर रहती है… जिससे किनारों पर दोष नहीं होते… एवं पहली ही बार में उत्पादन बेहतर हो जाता है।
इन्फ्रारेड ऊर्जा सीधे लक्षित क्षेत्र को गर्म करती है… इसलिए ऊर्जा की खपत कम हो जाती है। तेज़ प्रतिक्रिया के कारण, एक बैच से दूसरे बैच तक का इंतज़ार समय भी कम हो जाता है।
यह उपकरण 24/7 संचालन के लिए डिज़ाइन किया गया है… घटकों की क्षमता निरंतर कार्य करने हेतु है… एवं डिज़ाइन बार-बार होने वाले तापीय चक्रों को भी संभाल सकता है… बिना किसी गड़बड़ी के।
स्थापना एवं उपयोग हेतु व्यावहारिक सलाह
यह हीटर मौजूदा कैबिनेटों में भी लगाया जा सकता है… लेकिन एमिटरों एवं तरल पदार्थों के मार्ग के बीच सही संरेखण आवश्यक है… ताकि एकरूपता बनी रहे। इसके लिए उचित वोल्टेज आपूर्ति आवश्यक है… वरना सेटपॉइंट में गड़बड़ी हो जाएगी।
किसी भी रखरखाव के बाद, सिस्टम को कुछ समय तक गर्म रहने दें… एवं कैबिनेट के दरवाज़ों का उपयोग नियमित रूप से ही करें… क्योंकि हवा के कारण दोहरावी परिणामों में गड़बड़ी हो सकती है।