फैब फ्लोर पर, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” जैसी प्रक्रियाओं में कोई त्रुटि होने की गुंजाइश नहीं है। मात्र दो डिग्री का अंतर भी उत्पादन प्रक्रिया में गंभीर समस्याएँ पैदा कर सकता है; इसलिए हमने ऐसी इन्फ्रारेड हीटिंग लैंपें विकसित कीं, जो इस प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा कर सकें।
वास्तव में, ट्विन-ट्यूब डिज़ाइन के कारण शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड किरणें एक ही क्षेत्र में केंद्रित हो जाती हैं; इससे तेज़ एवं सीधी ऊष्मा प्राप्त होती है, एवं ऊष्मा संचयन भी बहुत कम होता है। बेकिंग प्रक्रिया के दौरान, वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है; यही वजह है कि फोटोरेसिस्ट की प्रक्रिया हर बार सटीक रूप से ही होती है।
क्लीनरूम की व्यवस्था भी डिज़ाइन में ही शामिल है। क्वार्ट्ज़ आवरण एवं सील्ड टर्मिनेशनों के कारण कणों की संख्या नियंत्रित रहती है; इसके अलावा, बेकिंग प्रक्रिया के दौरान लैंपों से कोई गैस निकलती ही नहीं है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक लैंपों का आउटपुट स्थिर रहता है, एवं तापमान में 5% से भी कम बदलाव होता है… इससे लिथोग्राफी प्रक्रिया में स्थिरता बनी रहती है।
व्यवहार में यह व्यवस्था कारगर क्यों है? तो इसका कारण यह है कि “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में तापमान की एकरूपता बनी रहती है, जिससे उत्पादों की गुणवत्ता में सुधार होता है। “हार्ड बेक” प्रक्रिया में तापमान की स्थिरता से पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है। तेज़ तापमान वृद्धि से प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं इन्फ्रारेड किरणों के कारण ऊर्जा की बचत होती है… इससे प्रति वेफर लागत कम हो जाती है। उच्च मात्रा में उत्पादन होने पर, ऐसी व्यवस्था से अचानक होने वाली समस्याएँ एवं रखरखाव की आवश्यकताएँ कम हो जाती हैं।
स्थापना के दौरान ध्यान देने योग्य बातें ये हैं – ऑप्टिकल अलाइनमेंट बिल्कुल सटीक होना आवश्यक है; साथ ही, आसपास के उपकरणों में कोई ईएमआई उत्पन्न न हो, इसके लिए विशेष व्यवस्था आवश्यक है। लैंपों का प्रदर्शन तभी सर्वोत्तम रहता है, जब वे विशेष प्रकार के रिफ्लेक्टरों के साथ उपयोग में आते हैं, एवं बंद-लूप पाइरोमीटर द्वारा ही उनका नियंत्रण किया जाता है। यदि रिफ्लेक्टरों को बदल दिया जाए, तो तापमान में 0.2–0.3°C का बदलाव हो सकता है।
लैंपों को बदलने के बाद, थोड़ी देर तक उनका उपयोग करके उनका पुनर्कैलिब्रेशन करना आवश्यक है… ताकि तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे।