クラス100のクリーンルームで作業を行う際、加熱はかなり厄介な問題です。単に物体を温めるだけではなく、空気を絶対に汚さないようにする必要があります。一般的なヒーターでは、微細な粒子が飛び散ったり、化学物質が漏れ出したりして、製薬品の品質を損なったり、ウェーハを台無しにしてしまう可能性があります。
そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。これらは、ほんのわずかなほこりでも許されない、洗浄や乾燥といった過程で特別に開発されたものです。
清潔さの維持 ランプの筐体には融成シリカが使用されています。なぜかというと、金属不純物が漏れ出ないからです。普通のガラスでは、温度を急に変えると割れたり剥がれたりしますが、この石英素材なら大丈夫です。また、接着剤や多孔質のシールも使っていません。そういったものは、実質的にほこりを引き寄せる存在です。すべてをしっかりと密封することで、空気中に何も漏れ出さないのです。それだけです。
湿気対策 洗浄工程では、水分や化学物質の蒸気が至る所に飛び散ります。これらが機器を破壊するのを防ぐため、配線部分には特殊な密閉装置が取り付けられています。これにより、水分がフィラメント室に入るのを防ぎます。この密閉装置がなければ、ランプはあっという間に故障してしまいます。この装置があれば、湿気の多い場所に直接設置しても、短絡によるトラブルを心配する必要はありません。
熱の問題 これらのランプは直接放射熱を利用しています。とても速く加熱できます。空気を温める時間を無駄にせず、基材を直接加熱するため、加熱時間が大幅に短縮されます。しかし、注意点もあります。強力な赤外線によって、ランプの端から大量の熱が発生します。そのため、筐体には換気機能や水冷機能が必要です。もし取り付け用のブラケットがそのような熱に耐えられない場合、支持枠が歪んでしまいます。
設置方法 これらのランプは、既存のクリーンルーム用のランプと交換可能なように設計されています。サイズも小さく、配線も簡単です。また、強制送風が不要なため、厄介な乱流もなくなります。その結果、粒子数が安定し、部品も適切なタイミングで乾燥します。