웨이퍼 오염을 사전에 막는 방법
대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서는 램프가 파손되는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그건 진짜 악몽과도 같습니다.
일반적인 석영관이 파손되면, 그냥 작동을 멈추는 것에 그치지 않습니다. 실리콘 웨이퍼 표면에 미세한 입자와 화학물질들이 퍼져나갑니다. 한 번만 파손되어도 전체 제품이 폐기되고 맙니다. 그래서 우리는 오존이 발생하지 않는 IR 램프를 만드는 방식을 새롭게 고안했습니다.
오존의 문제점
대부분의 단파 IR 램프는 185nm 부근의 광선을 방출합니다. 문제는 이 광선이 공기 중의 산소와 반응하여 오존을 생성한다는 것입니다.
오존은 매우 유해합니다. 부식성이 있어서 기계의 내부를 서서히 손상시키며, 웨이퍼 표면의 화학적 성질도 변화시킬 수 있습니다. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 특수한 종류의 석영유리를 사용하여 VUV 파장을 차단했습니다. 그렇게 하면 오존이 전혀 생성되지 않습니다. 아주 간단한 방법입니다.
열 문제 해결
높은 부하가 가해지는 상황에서는 온도 변화가 심해집니다. 바로 이때 석영관이 깨질 수 있습니다.
이를 방지하기 위해 우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이 물질은 저가형 석영보다 팽창이나 수축이 훨씬 적습니다. 또한 필라멘트와 엔드캡 사이의 밀폐성을 강화하여 가스가 새어나가지 않도록 했습니다. 할로겐 회로에 문제가 생기면 램프가 단순히 소비되는 것이지, 폭발하지는 않습니다.
타협점
물론, 모든 것에는 대가가 있습니다.
필터가 특정 파장을 차단하기 때문에 스펙트럼 출력이 약간 변합니다. 가열 속도도 조금 달라질 수 있습니다. 기존 램프와 동일한 결과를 얻으려면 머무르는 시간을 조절하거나 전력 밀도를 높여야 합니다.
램프의 사용 방법
우리는 이 램프들을 쉽게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 전원 공급 장치의 와트수가 새 램프의 와트수와 맞는지 꼭 확인하세요. 절대로 열 손실을 보완하기 위해 램프에 과전압을 가해서는 안 됩니다. 그렇게 하면 필라멘트가 손상되거나 램프가 파손될 수 있습니다.
또 한 가지 팁: 냉각 팬을 깨끗하게 유지하세요. 석영관의 과열된 부분이 문제를 일으킬 수 있습니다.