CE 인증 반도체 히터

공정에서의 기술적 중요성 포토레지스트 베이크 과정에서 0.3℃의 온도 변화는 웨이퍼가 에칭에 들어가기 전부터 대량으로 스크랩이 발생할 수 있다. 열 예산은 타협하지 않는다. 우리는 바로 이러한 현실을 위해 CE 인증을 받은 반도체 히터를 제작하였다: 이 히터는 전체...