Di permukaan lantai, apabila pemanas RTP mula bergerak sedikit sebanyak, keseluruhan proses pembakaran akan terjejas. Pembakaran yang dilakukan secara perlahan atau terlalu cepat akan merosakkan profil fotoresist tersebut. Pembakaran yang berlebihan atau terlalu sejuk pula akan menyebabkan kawalan ketepatan CD menjadi sukar. Akibatnya, bahan yang dihasilkan akan rosak, perlu diperbaiki semula, dan penggunaan tenaga juga akan meningkat tanpa dapat dikembalikan.
Apa yang sebenarnya penting
Kami membina pemanas RTP agar suhu di seluruh permukaan wafer kekal stabil pada tahap ±0.1°C sepanjang proses pembakaran. Lampu halogen gelombang pendek membolehkan proses pembakaran berlangsung dengan cepat dan konsisten, sehingga profil fotoresist tetap stabil. Komponen kuarsa serta bahan yang mengeluarkan gas yang sedikit memastikan jumlah zarah dalam bilik bersih kelas 1–100 kekal stabil. Selain itu, bahan penebat karbon fiber membantu mengurangkan penggunaan tenaga tanpa menambah beban haba. Pemanas ini boleh dipasang dalam ruang pemprosesan yang sedia ada menggunakan penyambung standard, supaya profil haba dapat dikawal dengan tepat.
Inilah sebabnya mengapa pemanas ini sesuai digunakan dalam proses litografi dan etching: Suhu merupakan faktor penting yang tidak boleh diukur setelah proses selesai. Dengan pemanas ini, suhu pembakaran dapat dikawal dengan baik, sehingga ketepatan CD dapat dipertahankan. Repeatabiliti antara pelbagai batch produk memendekkan masa yang diperlukan untuk proses penyesuaian, dan memastikan semua proses berjalan lancar. Sistem ini dapat beroperasi 24/7 tanpa gangguan, dan jangka hayat lampu pula mencapai 5,000 jam sebelum perlu diganti. Ini bermakna kos penyimpanan alat ganti berkurangan, dan masa penyelenggaraan juga berkurangan.
Pemasangan pemanas ini memerlukan penyesuaian geometri ruang pemprosesan serta pengesahan penempatan lampu mengikut posisi wafer. Walaupun perbezaan kecil pun boleh menyebabkan masalah. Lakukan ujian singkat untuk menyesuaikan kadar pembakaran dan masa yang diperlukan. Anda mungkin memerlukan sistem penyejukan yang lebih baik untuk memastikan suhu kekal pada tahap ±0.1°C. Kami menyediakan pelan pemasangan serta data pemetaan haba agar proses pemasangan berjalan lancar.