Di bilik pemanggangan tersebut, kaedah pemanggangan jenis “soft bake” dan “hard bake” bukanlah cara yang sesuai untuk mendapatkan hasil yang memuaskan. Perubahan suhu sebanyak dua darjah sahaja sudah cukup untuk mengubah dimensi bahan yang diproses, dan peningkatan jumlah zarah-zarah tertentu boleh merosakkan keseluruhan kualiti produk. Oleh itu, kami menggunakan lampu pemanas inframerah berjenis “twin-tube” agar proses pemanggangan dapat berjalan dengan lancar.
Apa yang penting dalam reka bentuk ini ialah struktur “twin-tube” yang membolehkan sinar inframerah berpanjang gelombang pendek disalurkan ke kawasan tertentu. Dengan cara ini, pemangganan dapat dilakukan dengan cepat dan efisien, dengan penggunaan tenaga yang minimum. Kekonsistenan suhu pada permukaan wafer berada dalam lingkungan ±0.1°C, yang memastikan proses pengeringan bahan dapat dilakukan secara konsisten dari satu sesi ke sesi yang lain.
Reka bentuk bilik bersih juga turut memainkan peranan penting. Penggunaan kelambu kuarsa serta sambungan yang tertutup membantu mengawal jumlah zarah-zarah di udara. Lampu-lampu tersebut juga tidak mengeluarkan gas berbahaya semasa proses pemanggangan. Keluaran cahaya lampu tetap stabil walaupun setelah 5,000 jam penggunaan, dengan perubahan intensiti cahaya kurang dari 5%. Ini memastikan konsistensi suhu sepanjang proses litografi.
Sebabnya mudah saja: kekonsistenan proses pemanggangan jenis “soft bake” mengurangkan variasi ukuran wafer dan memperbaiki ketidakrataan pada tepi wafer. Kekonsistenan proses pemanggangan jenis “hard bake” pula mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja-kerja pembetulan semula, sekaligus meningkatkan kualiti produk. Proses pemanggangan yang cepat juga membantu mengurangkan masa yang diperlukan, tanpa menjejaskan ketepatan suhu. Selain itu, penggunaan spektrum inframerah yang terfokus memastikan penggunaan tenaga yang lebih efisien, sekali gus mengurangkan kos operasi untuk setiap wafer. Dalam proses pengeluaran yang berskala besar, kebolehpercayaan ini memastikan masa henti yang minimum dan memudahkan perancangan penyelenggaraan.
Berikut adalah perkara-perkara yang perlu diperhatikan semasa pemasangan. Penyelarasan optik perlu dilakukan dengan tepat, dan sumber kuasa yang digunakan juga perlu dilindungi agar tidak menyebabkan gangguan elektromagnetik pada komponen-komponen lain. Lampu-lampu tersebut akan berfungsi dengan lebih baik jika disesuaikan dengan geometri reflektor yang sesuai, serta dikendalikan oleh alat pengukur suhu yang canggih. Jika reflektor ditukar tanpa melakukan penyesuaian semula, kekonsistenan suhu boleh berubah sebanyak 0.2–0.3°C.
Selepas menukar lampu, lakukan ujian selama beberapa waktu sebelum melakukan penyesuaian semula agar suhu kembali ke tahap ±0.1°C.