Het maximale uit het drogen van uw wafern halen
Wanneer u wafern probeert te drogen, is het doel eenvoudig: zoveel mogelijk warmte overbrengen op het substraat. U wilt immers geen enkele watt verspillen aan het opwarmen van de behuizing van de machine. Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Deze reflectoren vangen het infrarode licht op dat anders gewoon in de behuizing zou verdwijnen, en sturen dit licht terug naar waar het thuishoort.
Waarom kiezen voor goud?
U zou denken dat gepolijst aluminium voldoende is. Dat is ook oké, maar het heeft moeite met langgolfig infrarood licht. Goud daarentegen is zeer reflecterend in het hele infrarode bereik. Hierdoor worden er meer fotonen teruggestuurd naar de wafer. Hierdoor kan de energie veel beter gericht worden gebracht, waardoor u geen hoge spanning nodig hebt om de gewenste temperatuur te bereiken. Dit is gunstig voor zowel uw energierekening als uw apparatuur.
Het gaat om de vorm
Denk aan de reflector als een hulpmiddel om warmte te sturen, en niet alleen als een spiegel. We passen de vorm van deze reflectoren aan zodat ze precies op de juiste plekken op de wafer komen te liggen. Op deze manier kunnen we ‘koude plekken’ voorkomen en ervoor zorgen dat de warmte gelijkmatig wordt verspreid. Als de vorm zelfs maar een beetje afwijkt – we hebben het hier over fracties van een millimeter – ontstaan er thermische verschillen. En dat is meestal precies waar het droogproces faalt.
De nadelen
Goud is inderdaad een uitstekend materiaal, maar het is wel zwak. Vervang de laag goud dus nooit met schurende middelen of harde chemicaliën. Anders raakt de laag goud beschadigd en zal de efficiëntie dalen. Gebruik alleen de goedgekeurde oplossingen. Bovendien heeft dit te maken met de manier waarop de lamp wordt bevestigd. Omdat deze reflectoren de warmte zo goed naar de wafer kunnen sturen, wordt er ook meer druk uitgeoefend op de bevestigingspunten van de lamp. Zorg ervoor dat uw koelventilatoren goed werken. Anders kan de lamp al snel beschadigen. Met een goede luchtcirculatie kunnen de cyclustijden worden verkort en de kosten verminderd.