Op de vloer blijft het product in beweging zodra de RTP-verwarmer begint te werken. Een te lage of te hoge temperatuur tijdens het verhitten heeft invloed op de kwaliteit van de fotoresistlaag. Een te hoge temperatuur kan zelfs leiden tot problemen bij het bepalen van de CD-kwaliteit. Het gevolg is afval, herwerkwerk en een energieverbruik dat niet meer teruggedraaid kan worden.
Wat echt belangrijk is Wij hebben de RTP-verwarmer ontworpen zodat er een uniformiteit van ±0,1°C wordt behouden over het hele oppervlak van de wafer. Halogeenlampen zorgen voor snelle en reproduceerbare verhogingen van de temperatuur, zodat de temperatuur nauwkeurig onder controle blijft. Het kwartsmateriaal en de materialen met een lage uitstoot zorgen ervoor dat het aantal deeltjes in de schone ruimtes op peil blijft. De isolatie van kunststofvezels zorgt voor minder energieverbruik zonder dat er extra warmte wordt gegenereerd. De verwarmer past gemakkelijk in bestaande kamers en controllers dankzij gestandaardiseerde connectoren. Hierdoor blijft het thermische profiel precies zoals gewenst.
Dit maakt de verwarmer ideaal voor lithografie en etching: temperatuur is een belangrijke factor die niet gemeten kan worden nadat het proces al is gestart. Met deze verwarmer blijft de temperatuur stabiel, wordt de uniformiteit van de CD verbeterd en blijft de spanning van de fotoresistlaag binnen de gewenste grenzen. De reproduceerbaarheid tussen verschillende batches verkort de tijd die nodig is om alle parameters af te stemmen. Het systeem kan 24/7 draaien zonder onverwachte stilstanden. De lampen kunnen meer dan 5.000 uur draaien voordat ze vervangen moeten worden, waardoor er minder reserveonderdelen nodig zijn en de onderhoudstijd korter is.
Voor de installatie moet de geometrie van de kamer goed worden bepaald en moet de positie van de lampen worden gecontroleerd ten opzichte van het vlak van de wafer. Zelfs een kleine afwijking kan tot problemen leiden. Plan een korte testronde in om de snelheid van temperatuurstijging en de tijd die nodig is om de temperatuur te stabiliseren opnieuw in te stellen. Er zal wat meer koeling nodig zijn om de temperatuur rond °0,1°C te houden. Wij leveren de benodigde technische tekeningen en gegevens over de temperatuurverdeling, zodat de installatie soepel verloopt.