Op de productielijn zijn er geen plekken waar het mogelijk is om ‘mooi’ te bakken – zowel bij zachte als bij harde bakprocedures. Een verschil van twee graden kan al leiden tot afwijkingen in de belangrijkste maten. Bovendien kan een plotselinge stijging in het aantal deeltjes de hele productie beschadigen. Daarom hebben we dubbelbuizensystemen met infraroodverwarming ontworpen, zodat de vereiste precisie wordt behaald.
Wat belangrijk is, is dat het dubbelbuizensysteem het kortegolfinfrarode licht concentreert in een klein gebied. Hierdoor vindt er snel en effectief verwarming plaats, met minimale thermische massa. Op het oppervlak van de plaat blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C. Dit zorgt ervoor dat de fotorezistentie telkens op dezelfde manier wordt behandeld.
De zuivere omgeving is vanaf het begin in het ontwerp opgenomen. Kwartsomhulsels en gesloten verbindingen zorgen ervoor dat het aantal deeltjes onder controle blijft. De lampen geven geen emissies af tijdens het bakproces. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5%. Hierdoor blijft de thermische balans constant in het hele proces.
Het werkt goed omdat de nauwkeurigheid van het bakproces de variaties in de dikte van de laag reduceert. De consistentie van het harde bakproces vermindert de noodzaak tot herwerking en beschermt zo de opbrengst. De snelle opwarmtijd verkort de productietijd, zonder dat de temperatuurnauwkeurigheid wordt aangetast. Het gefocuste infraroodspectrum zorgt er bovendien voor dat er minder energie wordt verbruikt, waardoor de kosten per plaat dalen. In productielijnen met hoge volumes betekent dit minder onverwachte stilstanden en minder onderhoudsactiviteiten die goed kunnen worden gepland.
Er zijn een paar dingen die goed moeten worden gedaan bij de installatie. De optische alignering moet perfect zijn, en er moet een gespecialiseerde, beschermdaarde voeding zijn, zodat er geen elektromagnetische storingen optreden in de aangrenzende onderdelen. De lampen werken het beste wanneer ze worden gebruikt in combinatie met een specifieke reflectorconfiguratie en worden aangestuurd door een pyrometer. Als de reflectoren worden vervangen zonder kalibratie, kan de uniformiteit afwijken met 0,2–0,3°C.
Na het vervangen van de lampen moet er eerst een korte testperiode worden uitgevoerd, gevolgd door een kalibratie, zodat de instellingen weer op ±0,1°C komen te liggen.