На полу, когда нагреватель RTP начинает смещаться в своей работе, весь процесс становится нестабильным. Даже небольшое отклонение температуры может нарушить параметры фотополимера. Чрезмерно высокая или низкая температура также приводит к проблемам с контролем коэффициента чистоты поверхности диска. В результате возникают отходы, необходимость повторной обработки, а также потери энергии, которые невозможно восстановить.
Что действительно имеет значение
Мы разработали нагреватель RTP таким образом, чтобы температура оставалась стабильной в пределах ±0,1°C на всем протяжении процесса. Галогенные лампы с короткой длиной волны обеспечивают быстрое и точное управление температурой, что позволяет сохранять стабильные параметры фотополимера. Кварцевые компоненты и материалы с низким уровнем выделения газов способствуют поддержанию стабильного количества частиц в чистых комнатах класса 1–100. Изоляция из углеродных волокон снижает потребление энергии без увеличения тепловой массы. Нагреватель может быть интегрирован в существующие камеры и контроллеры с помощью стандартизированных соединителей, так что температурный профиль будет соответствовать заданным параметрам, а не наоборот.
Это делает нагреватель пригодным для использования в процессах литографии и эчинга: температура является важным параметром, который невозможно измерить после завершения процесса. Благодаря этому нагревателю температура остается стабильной, что способствует улучшению качества продукции и поддержанию параметров фотополимера в пределах допустимых значений. Повторяемость процесса от партии к партии сокращает время на настройку оборудования и обеспечивает точность выполнения процесса. Система может работать круглосуточно без перерывов, а срок службы ламп составляет более 5 000 часов, что снижает потребность в запасных частях и упрощает процедуры технического обслуживания.
Установка нагревателя заключается в соответствии его геометрии параметрам камеры и правильной настройке расположения ламп относительно поверхности waferа. Даже небольшое смещение может привести к искажениям. Рекомендуется провести краткую проверку для корректировки параметров температуры. Ожидается увеличение нагрузки на систему охлаждения – для поддержания температуры в пределах ±0,1°C необходима тщательная координация с системами охлаждения. Мы предоставляем чертежи интерфейсов и данные по тепловому профилю, чтобы процедура установки проходила без проблем.