บนชั้นผลิต ค่าเบี่ยงเบนความร้อนจะไม่แสดงผลด้วยป้ายเตือน คุณจะเห็นมันในลักษณะความกว้างของเส้นที่วิ่งออกนอกขอบเขตบนแทร็ค รอยขอบสิ่งสกปรกหลังการล้าง หรือการลอกชั้นวัสดุที่เกิดขึ้นหลังการบ่มแพ็คเกจ ในการทำลิโธกราฟีและบรรจุภัณฑ์ งบประมาณความร้อนไม่ใช่ตัวเลือก—คุณต้องควบคุมให้ได้ มิฉะนั้นจะต้องรับผิดชอบ ค่าไฟฟ้าสำหรับหลอดไฟ NIR ใยคาร์บอนออกแบบมาเพื่อช่วยรักษางบประมาณนี้อย่างแม่นยำ ตั้งแต่การอบซอฟต์เบคจนถึงฮาร์ดเบค การทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้ง ไปจนถึงการบ่มวัสดุห่อหุ้ม
สิ่งที่สำคัญใต้ฝากระโปรง
เส้นใยคาร์บอนให้การยิงแสง NIR ที่รวดเร็วและเสถียร พร้อมอัตราการเพิ่มความร้อนที่เร็วและค่าความเฉื่อยความร้อนต่ำ นั่นแปลว่าการกระจายอุณหภูมิบนระดับเวเฟอร์มีความสม่ำเสมอภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งโซนที่ส่องแสง ซึ่งทำให้การควบคุมมิติวิกฤตยังทำได้ซ้ำได้และรูปทรงขอบด้านข้างคงที่ ห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 ทำได้เพราะวัสดุใช้ค่าการปล่อยฝุ่นต่ำ และตัวเรือนถูกออกแบบมาเพื่อไม่ให้เกิดอนุภาคเพิ่มขึ้น คุณจะได้ความน่าเชื่อถือตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันโดยมีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดน้อยที่สุด และอายุการใช้งานของหลอดที่ยาวนานช่วยลดสต็อกอะไหล่และย่นระยะเวลาการบำรุงรักษา
นี่คือเหตุผลว่าทำไมหลอดไฟนี้จึงทำงานได้จริง
ใช้สำหรับกระบวนการทางฟอโตรซิสต์—อบซอฟต์เบคและฮาร์ดเบค—โดยที่ความแม่นยำของอุณหภูมิเป็นตัวกำหนดความสม่ำเสมอของ CD และผลผลิต ใช้สำหรับการทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้งและทำความสะอาด ซึ่งการควบคุมความร้อนอย่างสม่ำเสมอช่วยป้องกันรอยน้ำและคราบตกค้างบนพื้นผิว ใช้สำหรับการบ่มแพ็คเกจ โดยต้องควบคุมเวลาและอุณหภูมิอย่างแม่นยำเพื่อป้องกันการเกิดช่องว่างและการลอกชั้นวัสดุ
อัตราการเพิ่มความร้อนที่เร็วขึ้นทำให้เวลาวงจรสั้นลง ความสม่ำเสมอที่เข้มงวดช่วยลดของเสีย การใช้พลังงานที่ต่ำกว่าและอายุหลอดที่ยาวนานช่วยลดต้นทุนต่อแผ่นเวเฟอร์
ข้อสังเกตทางปฏิบัติก่อนการกำหนดสเปค
หลอดไฟเหล่านี้สามารถติดตั้งได้อย่างเรียบร้อย แต่หน้าตัดความร้อนต้องสอดคล้องกับเครื่องมือของคุณ ทั้งการยึดติด ช่องเปิด และการไหลของอากาศมีผลทั้งหมด ยืนยันสเปคแรงดันไฟและขั้วเชื่อมต่อ จากนั้นวางแผนการทดสอบการปรับตั้งเครื่องและการยืนยันโปรไฟล์ความร้อนอย่างรวดเร็ว
เอาต์พุตไวต่อระยะห่างและรูปทรงของตัวสะท้อน ดังนั้นตั้งช่องว่างการทำงานครั้งเดียวและล็อกไว้ เมื่อกำหนดได้แล้ว หน้าต่างของกระบวนการจะเปิดออก และค่าต่างๆ จะนิ่งอยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้องตามสเปค