บนพื้นผิววัตถุที่ใช้ในการผลิต หากเครื่องทำความร้อน RTP เริ่มมีความคลาดเคลื่อน วัตถุดังกล่าวก็จะเคลื่อนที่ไปเรื่อยๆ การให้ความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอ แม้เพียงเล็กน้อย ก็สามารถส่งผลกระทบต่อคุณภาพของฟิล์มโฟโตรีซิสต์ได้ ส่วนการให้ความร้อนที่รุนแรงเกินไป ไม่ว่าจะร้อนหรือเย็นเกินไป ก็จะทำให้การควบคุมค่า CD เป็นเรื่องยาก สิ่งที่เกิดขึ้นก็คือวัตถุที่เสียหาย ต้องมีการปรับแก้ใหม่ และยังมีค่าใช้จ่ายด้านพลังงานที่ไม่สามารถเรียกคืนได้อีกด้วย
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราออกแบบเครื่องทำความร้อน RTP ให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C ตลอดกระบวนการผลิต หลอดไฟฮาโลเจนช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้ค่าอุณหภูมิของฟิล์มโฟโตรีซิสต์ยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ส่วนวัสดุควอตซ์และวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย ช่วยให้จำนวนอนุภาคในห้องปลอดฝุ่นชั้น 1–100 อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ส่วนวัสดุฉนวนคาร์บอนไฟเบอร์ก็ช่วยลดการใช้พลังงาน โดยไม่ส่งผลต่อค่าความร้อน นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถติดตั้งเข้ากับเครื่องมือและตัวควบคุมที่มีอยู่ได้ผ่านตัวเชื่อมต่อมาตรฐาน ทำให้อุณหภูมิสามารถควบคุมได้ตามที่กำหนด
นี่คือเหตุผลที่เครื่องนี้สามารถใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพในกระบวนการลิโธกราฟีและการกัดกร่อน: อุณหภูมิเป็นตัวแปรสำคัญในกระบวนการผลิต ซึ่งไม่สามารถวัดได้หลังจากกระบวนการเสร็จสิ้นแล้ว ด้วยเครื่องนี้ อุณหภูมิที่ใช้ในการให้ความร้อนจะสม่ำเสมอ ทำให้ค่า CD มีความสม่ำเสมอมากขึ้น และความเครียดของฟิล์มก็อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ความสามารถในการทำซ้ำกระบวนการผลิตได้หลายครั้ง ช่วยให้กระบวนการผลิตมีประสิทธิภาพมากขึ้น นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดที่ไม่ได้วางแผนไว้ และอายุการใช้งานของหลอดไฟก็สามารถอยู่ได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง ซึ่งหมายความว่าจะมีชิ้นส่วนสำรองน้อยลง และค่าใช้จ่ายด้านการบำรุงรักษาก็จะน้อยลงด้วย
การติดตั้งเครื่องนี้นั้น สิ่งสำคัญคือต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่ารูปร่างของห้องปฏิบัติการเหมาะสม และตำแหน่งของหลอดไฟเข้ากันได้ดีกับระนาบของวัตถุที่ใช้ในการผลิต แม้จะมีความคลาดเคลื่อนเพียงเล็กน้อย ก็อาจส่งผลให้เกิดความไม่สม่ำเสมอได้ ควรมีการทดสอบเล็กน้อยเพื่อปรับอัตราการเพิ่มอุณหภูมิและเวลาในการให้ความร้อนให้เหมาะสม นอกจากนี้ ยังต้องมีการควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในเกณฑ์ ±0.1°C ซึ่งจำเป็นต้องมีการปรับแต่งระบบระบายความร้อนให้เหมาะสมด้วย เรามีแบบแปลนและข้อมูลการวัดอุณหภูมิให้ เพื่อให้การติดตั้งเป็นไปอย่างราบรื่น