Зупинка контамінації пластин перед тим, як вона почнеться
У виробництві напівпровідників великого обсягу розрив лампової трубки – це не просто проблема; це справжній кошмар. Коли зламується стандартна кварцова трубка, вона перестає функціонувати, але при цьому на пластини з кремнію потрапляють частинки та хімічні речовини. Одного лише розриву достатньо, щоб увесь вантаж продукції став непридатним для використання. Саме тому ми переглядаємо спосіб конструкції наших ламп без озону.
Проблема з озоном
Більшість ламп з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням випромінюють світло при довжині хвилі близько 185 нм. Проблема полягає у тому, що це випромінювання впливає на кисень у повітрі, що призводить до утворення озону. Озон є шкідливою речовиною – він корозійний, поступово руйнує елементи обладнання та може завдати шкоди поверхні пластин. Ми вирішили цю проблему, використовуючи спеціальний вид кварцового скла, яке фільтрує ці довжини хвиль. Це запобігає утворенню озону. Просто так.
Боротьба з теплом
У умовах високих навантажень температура сильно коливається, і саме тоді скло може тріснути. Щоб цього уникнути, ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти. Він менше розширюється та скорочується порівняно з дешевим кварцем. Крім того, ми посилили герметизацію між філаментом та кінцевими елементами трубки, щоб газ не витікав. Якщо система з галогенами не працює, трубка просто перегоряє; вона не вибухає.
Компроміси
Але є один мінус: ніщо не є безкоштовним. Оскільки фільтри блокують певні довжини хвиль, спектральний випромінювання змінюється. Можливо, ви помітите, що швидкість нагрівання трохи інша. Ймовірно, доведеться коригувати час роботи лампи чи збільшувати потужність, щоб досягти того ж ефекту, що і зі звичайною лампою.
Як ефективно використовувати ці лампи
Ми розробили їх так, щоб їх можна було легко замінити. Просто переконайтеся, що ваш джерело живлення відповідає потужності нової лампи. Ні в якому разі не надмірно підвищуйте напругу, щоб компенсувати втрати тепла. Це може призвести до пошкодження філамента чи розриву трубки.
Порада від професіонала: Підтримуйте чистоту вентиляторів охолодження. Гарячі точки на кварцовому склі є причиною проблем.