На поверхні для літографії поліімідний фотопрезист не може витримувати такий рівень теплового контролю, який можливий при використанні звичайних...

На цеху з літографією не варто сприймати процедуру „м’якого випалювання“ як простий попередній крок у процесі обробки. Це насправді тепловий етап,...