
避免干燥设备变成“烤箱”
如果你曾在工厂里工作过,那一定知道这种状况:在进行干燥处理时,设备的内壁会变得极其高温。这简直是一团糟。 问题其实很简单:普通的加热元件会将热量向四周散发。虽然晶圆会变热,但设备的其他部分也会跟着变热。这样一来,你支付的电费就白白浪费在了为空气和设备外壳加热上。更糟糕的是,对于那些需要在设备附近工作的人来说,这种高温环境会带来安全隐患,而且持续的高温还会导致组件变形。
让热量集中在需要的地方
为了解决这个问题,我们可以使用定向红外灯。 可以把它想象成从普通灯泡换成手电筒。普通灯泡的石英管会向360度范围发光,而这种红外灯则通过内置反射器或特殊涂层,将热量集中到特定方向,直接照射到晶圆上。 这样一来,热量就不会散失到设备的其他部分。晶圆能得到足够的热量,而设备的外部则保持低温。这样,就无需再依靠大型冷却风扇或厚重的绝缘材料来防止设备过热了。
注意事项及解决方案
将这些红外灯安装到生产线上并不难。我们只需使用高温连接器,就能避免端子因高温而损坏。 不过,有一点很重要:必须精确控制其焦点位置。 因为现在热量是以光束的形式输送的,所以哪怕只有几毫米的偏差,都可能导致一切失控。如果固定装置出现偏差,那么加热的均匀性就会丧失。不过,这样的交换其实是一种有益的妥协。
为什么这很重要
当设备内部的温度下降后,一切都会变得更为舒适。 传感器和密封件也不再受到持续高温的影响,因此它们的使用寿命也会更长。此外,操作人员也不必再避开那些高温表面。这是一种更有效的保障人员安全的方式,无需再安装那些丑陋的防护装置。