
在处理100级洁净室时,加热问题堪称一大难题。这里的关键不仅仅是让物体变暖,更重要的是保持空气的纯净度。大多数普通加热器都不起作用——它们会释放出微小的颗粒或化学物质,这些物质可能会毁掉整批药品,或者瞬间破坏晶圆。
因此,我们使用高纯度的合成石英红外灯。这类灯专为那些对清洁度要求极高的冲洗和干燥环节而设计,因为在这些环节中,哪怕有一点点灰尘都是不可接受的。
保持清洁 我们使用熔融硅作为灯罩的材料。因为这种材料不会释放金属杂质。普通玻璃在温度急剧变化时容易破裂或剥落,而这种石英则能承受这样的温度变化。
此外,我们还摒弃了各种粘合剂和多孔密封件。因为这些材料很容易吸附灰尘。所有的部件都被紧密密封,这样就不会有灰尘进入气流中。就这么简单。
处理潮湿环境 冲洗过程中会产生大量水分和化学蒸汽。为防止这些物质损坏设备,我们在导线上安装了专用密封装置。这样可以防止湿气进入灯丝腔室。如果没有这些密封装置,灯就会很快烧坏。有了它们,就可以将灯直接安装在潮湿环境中,而不用担心短路问题。
热量的平衡 这类灯采用直接辐射加热的方式。这种方式效率非常高。因为是直接加热被加热物体,而不是先加热空气,所以升温速度大大加快。
不过,也有缺点。高强度的红外光会在灯的末端产生大量热量。因此,必须确保灯的外壳有良好的通风或冷却装置。如果安装支架无法承受这样的热量,那么支撑框架就可能会变形。
安装方式 我们设计的这种灯可以直接替代现有的洁净室照明系统。它们的体积很小,接线也很简单。
另外,由于不需要强制对流,也就无需担心气流带来的干扰。这样一来,空气中的颗粒物浓度就能保持稳定,部件也能在适当的时间完成干燥过程。