电子束光刻胶烘烤加热器

在生产车间，电子束光刻胶的烘焙并不是简单的预热。这是一个过程的基石。 如果热板上出现2°C的漂移，你的关键尺寸偏差就会变化。叠加开始滑动。然后你就得在光刻单元中追赶产量，而日程也因此延迟。 实际重要的内容 我们围绕短波红外（NIR）发射器和石英增强热架构构建了电子束光刻胶烘焙加热器。其带来的好处是...