晶圆除湿灯

在晶圆加工过程中，如果光刻胶在烘烤时的温度变化达到0.5°C，那么就会导致大量晶圆报废。而残留的水分则会导致各种缺陷的产生，比如晶圆表面出现瑕疵、图案变形等问题。这些缺陷往往在后期才会显现出来，但会给生产带来很大损失。我们设计的晶圆除湿装置可以消除这些变量，确保晶圆在加热过程中的温度稳定。 从技术...