V prostředí litografie stačí odchylka o 1 °C během procesu měkkého zahřívání fotorezistu k tomu, aby se změnily kritické rozměry a celá série výrobků byla považována za nekvalitní. Je tedy potřeba tepelná regulace, která zůstane v požadovaných mezích v každém cyklu.
Co je technicky důležité
Naši ohřívače zajišťují tepelnou jednotnost na úrovni čipů v rozsahu ±0,1 °C po celé ploše povrchu, přičemž opakovatelnost hodnoty teploty je ±0,5 °C. Je nutné vybrat vhodný typ ohřívače – halogenový krátkovlnný, střednovlnný nebo z uhlíkových vláken/NIR – s napětím od 100 V do 480 V. Ohřívače musí také odpovídat velikosti povrchů, na kterých se pracuje, a to včetně povrchů používaných při nanášení látek, nádob na čipy a zařízení určených k zatvrzování výrobků.
Kvartové a vysoce čisté keramické součásti zabraňují uvolňování plynů a vzniku částic, čímž podporují čistotu v prostředí typu Class 1–100. Regulace probíhá pomocí systému PID, s možností použití protokolů RS-485/Ethernet. Ohřívače jsou navrženy pro nepřetržitou práci 24/7, s dobou mezi poruchami, která je co nejblíže nule.
Proč to v praxi funguje
Při zpracování fotorezistu zajišťuje tato vysoká jednotnost konzistentní profily teplot během procesů měkkého a tvrdého zahřívání, takže se udržuje stabilita rozměrů čipů a nevznikají problémy s kvalitou výrobků. Při balení stabilní profily zatvrzování snižují vznik dutin a deformací, čímž se zkracují časy potřebné k ověření kvality výrobků a minimalizuje se potřeba oprav.
Rychlá reakce ohřívačů na požadovanou teplotu a nízké ztráty v režimu čekání snižují spotřebu energie. Čistá konstrukce ohřívačů zabraňuje vzniku částic, takže není potřeba provádět preventivní údržbu.
Několik praktických aspektů
Instalace spočívá v nalezení správné hmotnosti povrchů, na kterých se ohřívače nacházejí, a v správné volbě tepelného rozhraní. Očekávejte krátké období na naladění parametrů PID pro vaši komoru a její geometrii. Ohřívače jsou kompatibilní s protokolem SECS/GEM, ale plné naplnění protokolu závisí na verzi vašeho řídicího zařízení.
Udržujte provoz v určeném teplotním rozsahu a udržujte chladicí a odvodňovací kanály čisté. V opačném případě tepelné cykly zatěžují ohřívače a zkracují jejich životnost.