Na podlaze, když začne topné těleso RTP odchýlit se od požadované teploty, celá sada materiálů se stále pohybuje. Mírné odchylky v teplotě mohou narušit profil fotorezisty. Příliš vysoká nebo nízká teplota zase způsobuje problémy při kontrole rozměrů CD desek. Výsledkem jsou odpadní materiály, nutnost opakování procesů a energetické náklady, které nelze vrátit zpět.
Co je opravdu důležité Naše topné těleso RTP je navrženo tak, aby zajistilo rovnoměrnost teploty na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C během celého procesu. Halogenové lampy s krátkými vlnovými délkami umožňují rychlé a opakované nastavení teploty s přesnou kontrolou v klíčových bodech, takže profil fotorezisty zůstává stabilní. Kvartové součásti a materiály s nízkou emisí částic udržují koncentraci částic na úrovni 1–100 v čistých prostorách. Izolace z uhlíkových vláken snižuje spotřebu energie bez zvyšování tepelné hmotnosti. Topné těleso se připojuje k existujícím komorám a ovladačům pomocí standardizovaných konektorů, takže tepelný profil odpovídá požadovaným parametrům, a ne naopak.
Díky tomu funguje tento systém efektivně v procesech litografie a leptání: teplota je parametr, který nelze změřit až po skončení procesu. Díky tomuto topnému tělesu se teploty při měkkém a tvrdém zahřívání ustálí, rovnoměrnost CD desek se zlepší a napětí ve fotorezistu zůstane v rozmezí specifikací. Opakovatelnost mezi jednotlivými sériemi materiálů zkracuje dobu kalibrace a zajišťuje přesnější plánování procesů. Systém funguje 24/7 bez neplanovaných přestávek. Životnost lampy dosahuje více než 5 000 hodin mezi výměnami, což znamená méně náhradních dílů a efektivnější údržbu.
Instalace spočívá v přizpůsobení geometrie komory a ověření zarovnání lampové sestavy vůči rovině waferu. I malá odchylka může způsobit nesrovnalosti. Plánujte krátký testovací proces na znovu nastavení rychlosti zahřívání a doby trvání procesu pro váš fotorezist. Očekávejte trochu vyšší zátěž chladicích systémů – udržení teploty v rozmezí ±0,1 °C vyžaduje preciznější koordinaci s chladicími systémy. Poskytujeme návrhy rozvodů a data o tepelném profilu, aby byla instalace provedena správně.